近日,比特幣價(jià)格瘋漲已破2.7萬大關(guān),創(chuàng)下歷史新高!與此同時(shí),“挖礦”業(yè)也是高燒不退。此前眾多媒體曾曝光過很多“比特幣工廠”,一些大的工廠,一小時(shí)耗電就高達(dá)幾萬度,令人咂舌。不過,今天我們要介紹的則是另一個(gè)耗電大戶——芯片代工龍頭臺(tái)積電。
根據(jù)《天下雜志》報(bào)道,全***過去5年用電的增長量,約有1/3都是由臺(tái)積電貢獻(xiàn)的。而隨著新一代的可生產(chǎn)5nm工藝的EUV (極紫外光)微影技術(shù)的導(dǎo)入,用電量還將會(huì)暴增,可達(dá)目前主流制程的1.48倍。
據(jù)了解,目前半導(dǎo)體制程的主流光源是氬氟雷射,波長為 193 納米,當(dāng)晶體管尺度已微縮到幾十納米時(shí),就像用一支粗毛筆寫蠅頭小字一般,生產(chǎn)起來有點(diǎn)力不從心。而極紫外光的波長僅有 13.5 納米,這也使得 EUV光刻機(jī)成為了攻克7nm、5nm甚至更高制程工藝的關(guān)鍵。
目前能夠生產(chǎn)的EUV光刻機(jī)的只有荷蘭ASML一家,而EUV光刻機(jī)的造價(jià)也是非常之高昂。ASML目前最先進(jìn)的EUV光刻機(jī)一臺(tái)售價(jià)高達(dá)1.1億美金,而且還供不應(yīng)求。據(jù)報(bào)道顯示,此前ASML接到了5臺(tái)EUV光刻機(jī)的訂單,其中臺(tái)積電訂走了5臺(tái),耗資5.5億美元。這個(gè)價(jià)錢,幾乎可以買下兩臺(tái)世界最大民航機(jī)──空巴 A380。
而EUV光刻機(jī)除了售價(jià)高昂之外,其耗電也是非常之驚人!
雖然,艾司摩爾ASML并未公布 EUV光刻機(jī)機(jī)臺(tái)的耗電功率,但世界第二大內(nèi)存制造商、南韓的 SK 海力士曾在 2009 年的 EUV Symposium 表示,“EUV 的能源轉(zhuǎn)換效率(wall plug efficiency)只有 0.02% 左右。”
而造成轉(zhuǎn)換率低的一大原因是,極紫外光本身的損耗過大。
“極紫外光物理特性與一般常見的紫外光差異極大。這種光非常容易被吸收,連空氣都不透光,所以整個(gè)生產(chǎn)環(huán)境必須抽成真空;同時(shí),也無法以玻璃透鏡折射,必須以硅與鉬制成的特殊鍍膜反射鏡,來修正光的前進(jìn)方向,而且每一次反射仍會(huì)損失 3 成能量,但一臺(tái) EUV 機(jī)臺(tái)得經(jīng)過十幾面反射鏡,將光從光源一路導(dǎo)到晶圓,最后大概只能剩下不到 2% 的光線。”這也是 EUV 機(jī)臺(tái)如此耗電的主因之一。
如果按照前面的EUV能源轉(zhuǎn)換效率只有0.02% 來計(jì)算,目前先進(jìn)的能輸出 250 瓦功率的 EUV的機(jī)臺(tái),需要輸入0.125萬千瓦的電力才能達(dá)到,這個(gè)耗電量是傳統(tǒng)氬氟雷射的 10 倍以上。換句話來說,就是一臺(tái)輸出功率250W的EUV機(jī)器工作一天,將會(huì)消耗3萬度電,這個(gè)數(shù)字確實(shí)嚇人。
根據(jù)芯智訊了解,要想達(dá)到 250 瓦功率的 EUV輸出,需要將多臺(tái)13kW CO2激光器串聯(lián)接通達(dá)到所需的功率要求,最終從等離子體源產(chǎn)生所需的EUV光輸出。高科技產(chǎn)生極紫外光的過程非常低效,過去被人們比擬為“用核反應(yīng)堆提供動(dòng)力”,但也成為了滿足半導(dǎo)體工業(yè)批量生產(chǎn)要求擴(kuò)展EUV輸出功率的唯一可行方式。
另外需要指出的是,如此大的耗電量也不可避免的帶來了很大的發(fā)熱量,因此需要部署相應(yīng)的冷卻系統(tǒng),而這也將非常的耗電。
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