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1.2金相顯微原理
金相顯微鏡是通過觀察不透明物體的反射光來表征物體的表面特征，不同結構和性能的顯微鏡存在較大差異，其中有以Nomarski式差動干涉反襯顯微鏡為代表的高級型金相顯微鏡。其關鍵部件是用于分離光束的棱鏡，經棱鏡分離后，光束變成極化向互相垂直，中心不重合的兩束光;由此而引入相差，最后經檢偏器后發生干涉。干涉圖樣能夠反映試樣的表面是否平整;且不同材料組成的區域，即使有相同的高度和坡度但由于它們對入射波的延遲作用不同，也會產生附加襯度［5］。
1.3圖象數據采集
將觀察到的缺陷圖形通過與顯微鏡相連的計算機數據采集卡讀入計算機，就可以完成晶體缺陷的在線測量，從而大大提高材料檢測的效率。
2 實驗結果及分析
2.1不同腐蝕條件下顯示的各種缺陷的比較
在實驗過程中我們拍攝到一些典型的缺陷圖片，主要包括各種形狀的位錯，層錯及微缺陷等。對于位錯來說，不同晶面上的位錯坑的形態不一樣，例如：位錯腐蝕坑的形狀在硅單晶《111》晶面呈正三角形腐蝕坑，（100》晶面上呈正方形，《110》晶面上是矩形（較難顯示）。下面兩幅圖很好的說明了這一點：
