電容薄膜真空計是一種絕壓、全壓測量的真空計，原理是把加于電容薄膜上的壓力變化產生膜片間距離的變化，即產生了電容的變化，再通過鑒頻器把電容變化轉換成為電流或電壓的變化，組成為輸出信號，所以，它的測量是直接反映了真空壓力的變化值，而且只與壓力有關，與氣體成分無關，即：薄膜真空計是一種直接測量式的、全壓型的真空計。

電容式薄膜真空計原理

根據彈性薄膜在壓差作用下產生應變而引起電容變化的原理制成的真空計稱為電容式薄膜真空計，它由電容式薄膜規管（又稱為電容式壓力傳感器）和測量儀器兩部分組成。根據測量電容的不同方法，儀器結構有偏位法和零位法兩種。零位法是- ：種補償法，具有較高的測量精度。目前在計量部門作為低真空副標準真空計的就是采用零位法結構。

圖示出了零位法電容式薄膜真空計的結構原理圖。它由電容式薄膜規管、測量電橋電路、直流補償電源、低頻振蕩器、低頻放人器、相敏檢波器和指示儀長等組成。

電容式薄膜現管的中間裝者張 金屬彈性膜片，在膜片的側裝有一個固定 電板，當膜片兩側的壓差為零時，固定電極與膜片形成“個靜態電容Co，它與電容C1串聯后作為測量電橋的條橋臂， 電容C2、C3和C4與Cs的串聯電容組成其它三條橋臂。

金屬彈性膜片將薄膜真空規管隔離成兩個室，分別為接波測真空系統的測最室和接高真空系統（pb《10-*Pa）的參考壓力室。在這兩個室的連通管道上。設置一個高真空閥門7。測量時，先將閥門7打開，用高真空抽氣系統將規管內膜片兩側的空間抽全參考壓力pbe同時調節測量電橋電路，使之平衡，即指示儀衣指零。然后，關閉閥門7，測量室接通被測真空系統。當被測壓力P》Pb時，由于規管中的壓力差P1-Pb，膜片發生應變引起電容Co改變，破壞了測量電橋電路的平衡，

pb一 參考壓力

U一一補償電壓

K一規管常數， 其值K=Co/d，Co和do分別為固定電極與膜片在平衡狀態下的靜態電容和問距。

當p1》po時，測量結果就是絕對壓力，即

p1=KU？ （13）

電容式薄膜真空計測量范圍為10^1~ 10“Pa，其規管常數K可通過校準得到。

近年來，電容式薄膜真空計取得了重大進展，新型的雙電容式薄膜真空計的問世，提高了該類真空計的精度，擴展了測量范圍，使其測最下限可達l0^3Pa。

單側雙電容薄膜真空計具有靈敏度高、氣體的介電常數不變、壓萬讀數完全不受氣體成分影響、反應速度快等特點。如將其規管參考室內加置消氣劑并抽至≤l0°5Pa，就可測量zlO”pa的絕對壓力。

薄膜真空計缺點

薄膜真空計也不是沒有缺點的，首先是價格高，國內一般是4-6千元，量限低的貴些；進口則1.6—2.5萬元/只左右；其次，國內老式的薄膜規容易零漂，需要經常校正，要求高的經常校正。主要是技術陳舊，國內材料科學相對落后造成的，溫度穩定性不好；還有一個量程跨度小，國內的不超過3個數量級。第三是老式電容規規嬌氣，容易壞，用過的度知道，有油污進去很難清洗，要用丙酮，清洗挽救1\3往往會報廢，小量程的2\3會壞

薄膜電容參數相關

電容器的電容量就是表征電容器存儲電荷能力的參數，它在數值上等于極板上存儲的電荷量Q與極板上所加的電壓U之比。

電容上的684用的是數字計數法，這種計數法一般是3位數字，最左邊的第一位和中間的一位數字是有效數字，最右邊的一位數字是表示倍數，也就是10的多少次方，如果沒有標明單位，一般默認是pF。如果是帶小數點的數字，同時沒有標明單位，則單位是uF。

薄膜電容讀法和色環電阻的讀法類似，三位數字中前兩位是系數，最后一位是10的指數。104就是10乘以10的4次方，等于100000pF，也就是100nF。