另外,關于難以制造p型半導體這一點,使用β-Ga2O3來制作功率元件時,可以將其用作N型半導體,因此也不是什么問題。而且,通過摻雜Sn及Si等施主雜質,可在電子濃度為1016~1019cm-3的大范圍內對N型傳導特性進行控制(圖2)。
圖2:N型傳導特性的控制范圍大
使用β-Ga2O3時,可在大范圍內控制N型傳導性。實際上,通過摻雜施主雜質,可在1016~1019cm-3范圍內調整電子密度。
另外,關于難以制造p型半導體這一點,使用β-Ga2O3來制作功率元件時,可以將其用作N型半導體,因此也不是什么問題。而且,通過摻雜Sn及Si等施主雜質,可在電子濃度為1016~1019cm-3的大范圍內對N型傳導特性進行控制(圖2)。
圖2:N型傳導特性的控制范圍大
使用β-Ga2O3時,可在大范圍內控制N型傳導性。實際上,通過摻雜施主雜質,可在1016~1019cm-3范圍內調整電子密度。
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( 發表人:電子大兵 )