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傳感器-壓阻傳感

2009年11月07日 09:51 www.1cnz.cn 作者:佚名 用戶評論(0

傳感器-壓阻傳感???


壓阻式傳感器是用集成電路工藝技術,在硅片上制造出四個等值的薄膜電阻,并組成電橋電路。當不受力作用時,電橋處于平衡狀態,無電壓輸出;當受到力作用時,電橋失去平衡,輸出與應力成正比的電壓。壓阻式傳感器的工作原理與傳統的半導體應變式傳感器的工作原理一樣,都是基于半導體材料的壓阻效應。

壓阻系數
半導體電阻的相對變化近似等于電阻率的相對變化,而電阻率的相對變化與應力成正比,二者的比例系數定義為


固態壓阻式傳感器壓阻系數。由下式可得:
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傳感器
影響壓阻系數的因素
影響壓阻系數的因素主要是擴散電阻的表面雜質濃度和溫度。

固態壓阻器件
利用固體擴散技術,將P型雜質擴散到一片N型硅底層上,形成一層極薄的導電P型層,
裝上引線接點后,即形成擴散型半導體應變片。若在圓形硅膜片上擴散出四個P型電阻,構成惠斯登電橋的四個臂,這樣的敏感器件通常稱為固態壓阻器件。

測量電路
壓阻式傳感器的輸出信號一般較小,需要用電路進行放大。

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