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離子型濕敏元件是由絕緣材料制成的多孔陶瓷元件。由于水分子在微孔中的物理吸附作用,在濕空氣中呈現(xiàn)H+,使元件的電導率增加,主要成分分兩種 α-Fe2O3及K2CO3和ZnO.V2O5.LI2O。
陶瓷濕度傳感器在低濕段電阻隨濕度阻值變化較大,在40%-80%RH范圍內,線性度比較好,高濕段則變化過小,可見陶瓷濕度傳感器在常濕狀態(tài)下具有較好的特性曲線,而在高濕段,低濕段曲線發(fā)生畸變,非線性比較明顯。陶瓷濕敏元件德感濕特性還受到溫度變化的影響,溫度補償對測量精度是重要的。
電子型濕度傳感器主要有氧化鋁、一氧化鎂合成陶瓷濕度傳感器元件電導率的增加和減少,利用分子在氧化物表面上的化學吸附作用而成,N型半導體,P型半導體氧化物反應出正濕度特性和負濕度特性。
氧化鋁和一氧化鎂濕度傳感器,在700℃以下溫度下可以進行濕度測量而比較穩(wěn)定。但結構復雜,需要加熱光柵加熱至700℃,耗電大使用條件苛刻,價格昂貴,還要防止空氣流速變動所引的特性改變,不易在工業(yè)領域普及使用。
陶瓷濕度傳感器是近年來大力發(fā)展的一種新型傳感器。優(yōu)點在于濕度滯后,響應速度快,體積小,便于批量生產(chǎn),但由于多孔型材質,對塵埃影響很大,日常維護頻繁,時常需要電加熱加以清洗易影響產(chǎn)品質量,易受濕度影響,在低濕高溫環(huán)境下線性度差,特別是使用壽命短,長期可靠性差,是此類濕度傳感器迫切解決的問題。