電容式傳感器是以各種類型的電容器作為傳感元件，將被測物理量或機械量轉換成為電容量變化的一種轉換裝置，實際上就是一個具有可變參數的電容器。電容式傳感器廣泛用于位移、角度、振動、速度、壓力、成分分析、介質特性等方面的測量。最常用的是平行板型電容器或圓筒型電容器。

　　電容式傳感器的優點

　　與電阻式、電感式等傳感器相比，電容式傳感器具有以下一些優點。

　　1、溫度穩定性好

　　電容式傳感器的電容值一般與電極材料無關，僅取決于電極的幾何尺寸，且空氣等介質損耗很小，其他因素影響甚微（因本身發熱極小）。而電阻式傳感器有電阻，工作時會產生大量熱量，不僅損失能量，而且造成元件發熱，縮短了使用壽命。

　　2、結構簡單，適應性強

　　電容式傳感器結構簡單，易于制造，能在高低退、強輻射及強磁場等各種惡劣的環境條件下工作，適應能力強，尤其可以承受很大的溫度變化，在高壓力、高沖擊、過載等悄況下都能正常工作，能測超大量的高壓和低壓差，能對帶進工件進行測量。此外，為實現某些特殊要求的測量還可以把傳感器的體積做得很小。

　　3、動態響應好

　　電容式傳感器由于極板間的靜電引力很小，需要的作用能量極小，又由于它的可動部分可以做得很小很薄，即質量很輕，因此其固有頻率很高，動態響應時間短，能在幾兆赫的頗率下工作，特別適合動態測量。又由于其介質損耗小，可以用較高頻率供電，因此系統工作頻率高，可用于測量高速變化的參數，如測量振動、瞬時壓力等。

　　4、可以實現非接觸測量，具有平均效應

　　當被測件不允許接觸測量時，電容式傳感器可以進行非接觸測量。這種情況下，電容式傳感器具有平均效應，可以減小工件表面粗糙度等對測量的影響。

　　電容式傳感器除上述優點之外，還因帶電極板間的靜電引力極小，因此所需輸入能量極小，特別適宜低能量輸入的測量，例如測量極低的壓力、力和很小的加速度、位移等，可以做得很靈敏，分辨力非常高，能感受。0.Olmm甚至更小的位移。

　　電容式傳感器的缺點

　　1、輸出阻抗高，負載能力差

　　電容式傳感器的容盆受其電極幾何尺寸等限制一般做得不大（為幾十到幾百皮法，使傳感器的輸出阻抗很高。因此電容式傳感器負載能力差，易受外界干擾影響而產生不穩定現象，嚴重時甚至無法工作，必須采取屏蔽措施。容杭大還要求傳感器絕緣部分的電阻值極高（幾十兆歐以上），否則絕緣部分將作為旁路電阻而形響傳感器的性能（如靈敏度降低），為此還要特別注意周圍環境（如溫濕度、清潔度等）對絕緣性能的影響。高頻供電雖然可降低傳感器的輸出阻抗，但放大、傳箱遠比低頻時復雜，且寄生電容形響加大，難以保證工作穩定。

　　2、寄生電容影響大

　　電容式傳感器的初始電容最很小，而其引線電纜電容、測量電路的雜散電容以及傳感器極板與其周圍導體構成的電容等“寄生電容”卻較大，這不僅降低了傳感器的靈敏度，而且這些電容（如電纜電容）常常是隨機變化的，將使傳感器的工作很不穩定，影響測量精度，其變化量甚至超過被測量引起的電容變化量，致使傳感器無法工作。因此對電纜的選擇、安裝、接法等都有嚴格的要求。

　　3、輸出特性非線性

　　變極距型電容傳感器的輸出特性是非線性的，雖可采用差動結構來改善，但不可能完全消除。其他類型的電容傳感器只有忽略了電場的邊緣效應時，輸出特性才呈線性；否則邊緣效應所產生的附加電容址將與傳感器電容址直接處加，使輸出特性非線性。

　　隨著材料、工藝、電子技術，特別是集成電路的高速發展，電容式傳感器的優點將得到發揚而缺點會不斷得到克服，電容式傳感器正逐漸成為一種高靈敏度、高梢度，在動態、低壓及一些特殊測量方面大有發展前途的傳感器。