光柵尺,也稱為光柵尺位移傳感器(光柵尺傳感器),是利用光柵的光學原理工作的測量反饋裝置。光柵尺經常應用于數控機床的閉環伺服系統中,可用作直線位移或者角位移的檢測。其測量輸出的信號為數字脈沖,具有檢測范圍大,檢測精度高,響應速度快的特點。例如,在數控機床中常用于對刀具和工件的坐標進行檢測,來觀察和跟蹤走刀誤差,以起到一個補償刀具的運動誤差的作用。光柵尺按照制造方法和光學原理的不同,分為透射光柵和反射光柵。
光柵尺是由標尺光柵和光柵讀數頭兩部分組成。標尺光柵一般固定在機床固定部件上,光柵讀數頭裝在機床活動部件上,指示光柵裝在光柵讀數頭中。右圖所示的就是光柵尺的結構。
光柵檢測裝置的關鍵部分是光柵讀數頭,它由光源、會聚透鏡、指示光柵、光電元件及調整機構等組成。光柵讀數頭結構形式很多,根據讀數頭結構特點和使用場合分為直接接收式讀數頭(或稱硅光電池讀數頭、鏡像式讀數頭、分光鏡式讀數頭、金屬光柵反射式讀數頭)。
光柵尺的結構原理
光柵尺位移傳感器是由標尺光柵和光柵讀數頭兩部分組成。標尺光柵一般固定在機床活動部件上,光柵讀數頭裝在機床固定部件上,指示光柵裝在光柵讀數頭中。
下圖所示的就是光柵尺位移傳感器的結構。
常見光柵的工作原理都是根據物理上莫爾條紋的形成原理進行工作的。 (關于莫爾條紋的原理,可參考相關文獻) 簡單的說:光讀頭通過檢測莫爾條紋個數,來“讀取”光柵刻度,然后再根據驅動電路的作用,計算出光柵尺的位移和速度。相比例如軟件測量的方式,光柵尺讀數測量具有更高的精度。