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金屬氧化物膜濕敏元件的結構及特點

2009年11月30日 09:37 www.1cnz.cn 作者:佚名 用戶評論(0
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金屬氧化物膜濕敏元件的結構及特點

Fe2O3、Fe3O4、Cr2O3、Al2O3、Mg2O3及ZnO、TiO2,等金屬氧化物的細粉,吸收水分后有極快的速干特性,利用這種特性可以研制生產出多種金屬氧化物膜濕敏元件。

金屬氧化物膜濕敏元件的一般結構如圖所示。在陶瓷基片上先制作成鈕銀梳狀電極,然后采用絲網印刷、涂布或噴射等工藝方法,將調制好的糊狀金屬氧化物加工在陶瓷基片及電極上,采用燒結或烘干方法使之固化成膜。這種膜可以吸附或釋放水分子而改變其電阻值,通過測量電極間的電阻值即可檢測相對濕度。

金屬氧化物膜濕敏元件的特點是電阻的對數值與濕度呈線性關系,具有測試范圍寬、響應速度快、濕滯小和工作溫度范圍寬的優點,使用壽命大多在兩年以上。???
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