中圖儀器文章

• 激光干涉儀：解鎖協(xié)作機(jī)器人DD馬達(dá)的精度密碼2025-06-03 17:09

  

  在工業(yè)4.0的浪潮中，協(xié)作機(jī)器人正以驚人的靈活性重塑生產(chǎn)線——它們與工人并肩作業(yè)，精準(zhǔn)搬運(yùn)零件，完成精密裝配。還能協(xié)同醫(yī)生完成手術(shù)，甚至制作咖啡。標(biāo)準(zhǔn)的協(xié)作機(jī)器人關(guān)節(jié)模組由角度編碼器、直驅(qū)電機(jī)(DD馬達(dá))、驅(qū)動器、諧波減速機(jī)、剎車、扭矩傳感器等元器件組成，DD馬達(dá)摒棄了傳統(tǒng)減速機(jī)構(gòu)，將負(fù)載與電機(jī)轉(zhuǎn)子直接耦合，成就了協(xié)作機(jī)器人流暢的關(guān)節(jié)運(yùn)動。但這一革命性設(shè)計也

  協(xié)作機(jī)器人 激光干涉儀 馬達(dá) 61瀏覽量

• 共聚焦顯微鏡——賦能光學(xué)元件精密質(zhì)控2025-05-29 14:41

  

  在光學(xué)精密加工領(lǐng)域，微納結(jié)構(gòu)元件的三維形貌檢測是保障器件性能的重要環(huán)節(jié)。以微透鏡陣列、衍射光學(xué)元件為代表的精密光學(xué)元件，其特征尺寸已突破亞微米量級，對表面輪廓精度與結(jié)構(gòu)面形誤差的檢測要求達(dá)到納米級分辨率。若加工過程中產(chǎn)生的邊緣塌陷、周期畸變或面形偏差未能精準(zhǔn)識別，當(dāng)此類缺陷元件被集成至光通信模塊或成像系統(tǒng)時，將導(dǎo)致光束傳播相位失配、成像質(zhì)量劣化等問題，甚至造

  光學(xué)元件 顯微鏡 69瀏覽量

• wafer晶圓幾何形貌測量系統(tǒng)：厚度(THK)翹曲度(Warp)彎曲度(Bow)等數(shù)據(jù)測量2025-05-23 14:27

  

  在先進(jìn)制程中，厚度(THK)翹曲度(Warp)彎曲度(Bow)三者共同決定了晶圓的幾何完整性，是良率提升和成本控制的核心參數(shù)。通過WD4000晶圓幾何形貌測量系統(tǒng)在線檢測，可減少其對芯片性能的影響。

  厚度測量 數(shù)據(jù)測量 晶圓制造 翹曲度 242瀏覽量

• 探索微觀世界的“度量衡”：顯微測量儀器解析2025-05-23 14:25

  

  臺階儀、光學(xué)輪廓儀和共聚焦顯微鏡，這些看似冰冷的儀器設(shè)備，實(shí)則是微觀世界的“度量衡”，憑借其技術(shù)與性能，為我們解鎖微觀世界的厚度奧秘。

  顯微儀 測量儀器 白光干涉儀 輪廓測量 203瀏覽量

• 掃描電鏡：打開微觀世界的“超維相機(jī)”，科學(xué)家如何用它破解納米謎題？2025-05-23 14:22

  

  傳統(tǒng)顯微鏡受限于可見光波長，放大極限止步于200納米。而掃描電鏡利用高能電子束作為"探針"，通過電磁透鏡操控電子軌跡，突破衍射極限，分辨率可達(dá)1納米以下。

  SEM 掃描電鏡 電子顯微鏡 169瀏覽量

• 精度不夠？PLR3000光纖激光尺：0.2ppm誤差解鎖微米級制造2025-05-23 14:20

  

  光纖激光尺基于激光干涉測量原理，具有更加精確的柵距和更高的分辨率，同時其熱源隔離設(shè)計，保證了更高的穩(wěn)定性，同時具有安裝快捷，易于準(zhǔn)直等特點(diǎn)，在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術(shù)等高科技領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。

  光纖激光 光纖激光尺 170瀏覽量

• 光學(xué)輪廓儀有著以下幾大技術(shù)特點(diǎn)2025-05-21 14:47

  

  光學(xué)輪廓儀是一種利用光學(xué)原理來測量物體表面形狀和輪廓的儀器，廣泛應(yīng)用于多個領(lǐng)域。其工作原理是通過投射光線到物體表面，利用光學(xué)傳感器接收反射光信號，并根據(jù)信號變化確定物體表面的形狀和輪廓。光學(xué)輪廓儀采用非接觸式測量方式，避免了對被測物體的損傷，尤其適用于精密、易損的材料和工件。該儀器具有高分辨率的測量能力，可以捕捉到物體表面微小的細(xì)節(jié)，無論是納米級的微觀結(jié)構(gòu)還

  光學(xué) 測量 表面輪廓儀 188瀏覽量

• 大量程粗糙度輪廓儀適用于哪些材質(zhì)和表面？2025-05-21 14:45

  

  大量程粗糙度輪廓儀是一種能夠在廣泛的測量范圍內(nèi)對工件表面進(jìn)行粗糙度分析的精密儀器。它通常采用接觸式或非接觸式傳感器，通過對工件表面的掃描，捕捉表面微觀的起伏和波動，從而獲取粗糙度數(shù)據(jù)。該儀器不僅能測量微小的表面細(xì)節(jié)，還能處理較大尺寸的工件，因此非常適用于需要大范圍表面測量的應(yīng)用場合。如SJ5800粗糙度輪廓儀在操作過程中，能夠通過掃描表面輪廓并生成數(shù)據(jù)圖形，

  測量 精密儀器 203瀏覽量

• 三維表面輪廓儀的維護(hù)保養(yǎng)是確保其長期穩(wěn)定運(yùn)行的關(guān)鍵2025-05-21 14:42

  

  三維表面輪廓儀是一種高精度測量設(shè)備，用于非接觸式或接觸式測量物體表面的三維形貌、粗糙度、臺階高度、紋理特征等參數(shù)。其主要基于光學(xué)原理進(jìn)行測量。它利用激光或其他光源投射到被測物體表面，通過接收反射光或散射光，結(jié)合計算機(jī)圖像處理技術(shù)，獲取物體表面的三維坐標(biāo)數(shù)據(jù)。這些數(shù)據(jù)可以進(jìn)一步用于分析物體表面的形狀、粗糙度、紋理等特征。廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、半導(dǎo)體制造、精密機(jī)械

  白光干涉儀 輪廓測量儀 175瀏覽量

• 為生命護(hù)航|激光跟蹤儀檢測X射線計算機(jī)斷層掃描成像系統(tǒng)的應(yīng)用2025-05-16 15:39

  

  行業(yè)背景概述X射線計算機(jī)斷層掃描成像系統(tǒng)，簡稱CT。近年來，全球CT市場展現(xiàn)出穩(wěn)健的擴(kuò)張態(tài)勢。在亞太地區(qū)，伴隨各國對醫(yī)療基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)的持續(xù)投入，以及人口老齡化程度的加深，CT設(shè)備迎來了爆發(fā)式的市場需求。與此同時，多層螺旋CT、能譜CT等一系列前沿技術(shù)相繼問世，不僅極大提升了CT設(shè)備的性能，也進(jìn)一步拓展了應(yīng)用場景，有力推動了市場規(guī)模的持續(xù)增長。需求描述CT設(shè)備

  成像系統(tǒng) 激光跟蹤儀 計算機(jī) 133瀏覽量