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超精密雙面拋光的加工原理2022-11-01 10:07
超精密兩面拋光加工是化學(xué)機(jī)械拋光的應(yīng)用(CMP)技術(shù)性，借助產(chǎn)品工件、碾磨顆粒物、拋光劑和拋光輪的機(jī)械作用，在工件打磨拋光環(huán)節(jié)中，發(fā)生部分持續(xù)高溫和髙壓，使產(chǎn)品與碾磨顆粒物、拋光劑和拋光輪中間最直接的化學(xué)物理轉(zhuǎn)變，造成工件表面的化學(xué)物理轉(zhuǎn)變。因?yàn)闄C(jī)械設(shè)備和化學(xué)變化的重合，工件表面的生成物逐漸被碾磨，從而使得工件表面光潔。兩面噴砂工藝要在單層噴砂工藝的前提下發(fā)拋光 3759瀏覽量