--- 產品參數 ---
- XY平臺 尺寸320×200mm,行程140×110mm,電動、手動同
- Z軸行程 100mm,電動
- Z向掃描范圍 10mm
- Z向分辨率 0.1nm
- 粗糙度RMS重復性 0.005nm
--- 產品詳情 ---
中圖儀器SuperViewW1白光干涉儀設計簡潔、用途多樣,能夠測量不同的材質、結構、表面粗糙度和波度,涵蓋所有類型的表面形貌。它的多功能性能夠滿足廣泛的形貌測量應用。
白光干涉儀應用操作步驟:
1. 將樣品放置在夾具上,確保樣品狀態穩定;
2. 將夾具放置在載物臺上;
3. 檢查電機連接和環境噪聲,確認儀器狀態;
4. 使用操縱桿調節三軸位置,將樣品移到鏡頭下方并找到樣品表面干涉條紋;
5. 完成掃描設置和命名等操作;
6. 點擊開始測量(進入3D視圖窗口旋轉調整觀察一會);
7. 進入數據處理界面,點擊“去除外形",采用默認參數,點擊應用獲取樣品表面粗糙度輪廓;
8. 進入分析工具模塊,點擊參數分析,直接獲取面粗糙度數據,點擊右側參數標準可更換參數標準,增刪參數類型;
9. 如果想獲取線粗糙度數據,則需提取剖面線;
10. 進入數據處理界面,點擊“提取剖面"圖標,選擇合適方向剖面線進行剖面輪廓提取;
11. 進入分析工具界面,點擊“參數分析"圖標,點擊右側參數標準,勾選所需線粗糙度相關參數,即可獲取線粗糙度Ra數據。
白光干涉儀的應用場景一:超光滑的弧形表面
上圖是一款旋轉拋物面零件,用于微小位移和角度檢測,其表面具有超光滑、高反、凹面弧形特征,針對其凹面弧形的檢測需求,現有的顯微測量儀器中,原子力顯微鏡和共聚焦顯微鏡,均分別因有損測量或分辨率不夠的原因而排除,只有以白光干涉為原理的光學3D表面輪廓儀,能同時滿足無損、超高分辨率、耐高反等條件。
針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時滿足的高精度、大掃描范圍的需求,中圖儀器SuperView W1的復合型EPSI重建算法,解決了傳統相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點。在自動拼接模塊下,只需要確定起點和終點,即可自動掃描, 重建其超光滑的表面區域,不見一絲重疊縫隙。
白光干涉儀的應用場景二:粗糙的特征表面
上圖是涂覆在電極棒的催化劑表面全景圖,整體尺寸在7mm左右,中心的催化劑區域呈低反射率特點,而圓環外呈高反射率特點,整體的輪廓尺寸和微觀的輪廓起伏反映了涂覆的質量。
根據客戶精度要求,可將重建算法切換為高速掃描的FVSI重建算法,并可依據表面粗糙程度,選擇不同步距進行速度調節。
為你推薦
-
半導體晶圓幾何表面形貌檢測設備2025-01-06 14:34
產品型號:WD4000系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。 -
高精度激光干涉儀測量系統2025-01-06 14:32
產品型號:SJ6000系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。 -
產品素線形狀輪廓掃描測量儀2025-01-06 14:30
產品型號:SJ5800系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。 -
一鍵式全自動尺寸測量儀2025-01-06 14:27
產品型號:VX8000系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。 -
國產一鍵成像臺式掃描電鏡2025-01-06 14:09
產品型號:CEM3000系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。 -
三次元三坐標檢測儀2025-01-02 14:00
產品型號:Mars系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。 -
臺階薄膜厚度測量儀2025-01-02 13:57
產品型號:NS系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。 -
6D激光跟蹤姿態測量儀2025-01-02 13:55
產品型號:GTS系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。 -
中圖儀器測長機品牌2025-01-02 13:53
產品型號:SJ5100系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。 -
中圖掃描電子顯微鏡2025-01-02 13:48
產品型號:CEM3000系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。
-
關于三坐標測量機的常見問題及回答2025-01-02 13:41
-
關于影像儀的常見問題及回答2024-12-30 14:21
-
關于閃測儀常見的問題及回答2024-12-30 14:19
-
如何選擇掃描電鏡的分辨率?2024-12-25 14:29
-
如何操作才能使樣品在掃描電鏡中清晰成像?2024-12-25 14:27
-
冶金工業案例:GTS激光跟蹤儀在連鑄機安裝中的應用2024-12-20 15:03
-
尺寸測量全自動檢測設備及其在線應用探索2024-12-13 16:59
-
自動化生產中的精密幾何量測量:關鍵儀器與應用2024-12-13 16:43
-
白光干涉儀測量原理及干涉測量技術的應用2024-12-13 16:42
-
方案上新|軸承行業測量解決方案免費下載2024-11-28 16:42
-
大尺寸部件安裝精度測量:GTS激光跟蹤儀的解決方案2024-11-20 14:52
-
輪廓測長|中圖儀器SJ51系列測長機實現高精度二維長度測量2024-01-25 15:37
-
顯微測量|中圖儀器顯微測量儀0.1nm分辨率精準捕捉三維形貌2024-01-25 15:34
-
激光干涉儀檢測機床的方法(以線性檢測為例)2023-10-27 15:21
-
納米級測量儀器:窺探微觀世界的利器2023-10-11 13:49
-
微納共聚焦顯微鏡:檢測摩擦學研究的重難點2023-09-22 09:13
-
先進封裝廠關于Bump尺寸的管控2023-09-06 14:26