中圖儀器SuperViewW1白光干涉儀可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米的工件粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，是一款用于精密器件及材料表面的亞納米級測量的檢測儀器。只需要操作者裝好被測工件，在軟件里設(shè)好視場參數(shù)，把物鏡調(diào)節(jié)到被測工件表面，選擇自動聚焦后，儀器就會主動找干涉條紋開始掃描測量。然后自動生成工件表面3D圖像，一鍵輸出反映工件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，完成工件表面形貌一鍵測量。

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品型號：SuperView W1系列

產(chǎn)品名稱：光學(xué)3D表面輪廓儀

影像系統(tǒng)：1024×1024

光學(xué)ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）

干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）

XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動、手動同時具備，均為光柵閉環(huán)反饋

Z軸行程：100mm，電動

Z向掃描范圍：10mm

Z向分辨率：0.1nm

可測樣品反射率：0.05%-100%

水平調(diào)整：±5°手動

粗糙度RMS重復(fù)性：0.005nm

臺階高測量：準(zhǔn)確度0.3%，重復(fù)性0.08% 1σ

主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析、測量速度快、效率高

白光干涉儀在數(shù)秒內(nèi)，即可獲得平面和曲面表面上測量所有常見的粗糙度參數(shù)。也可以選擇拼接功能軟件升級來組合多個影像以提供大面積測量。從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

白光干涉儀應(yīng)用

場景一：超光滑的弧形表面

上圖是一款旋轉(zhuǎn)拋物面零件，用于微小位移和角度檢測，其表面具有超光滑、高反、凹面弧形特征，針對其凹面弧形的檢測需求，現(xiàn)有的顯微測量儀器中，原子力顯微鏡和共聚焦顯微鏡，均分別因有損測量或分辨率不夠的原因而排除，只有以白光干涉為原理的光學(xué)3D表面輪廓儀，能同時滿足無損、超高分辨率、耐高反等條件。

針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時滿足的高精度、大掃描范圍的需求，中圖儀器國產(chǎn)白光干涉儀廠商的復(fù)合型EPSI重建算法，解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點。在自動拼接模塊下，只需要確定起點和終點，即可自動掃描， 重建其超光滑的表面區(qū)域，不見一絲重疊縫隙。

場景二：粗糙的特征表面

上圖是涂覆在電極棒的催化劑表面全景圖，整體尺寸在7mm左右，中心的催化劑區(qū)域呈低反射率特點，而圓環(huán)外呈高反射率特點，整體的輪廓尺寸和微觀的輪廓起伏反映了涂覆的質(zhì)量。

根據(jù)客戶精度要求，可將重建算法切換為高速掃描的FVSI重建算法，并可依據(jù)表面粗糙程度，選擇不同步距進(jìn)行速度調(diào)節(jié)。

中圖儀器白光干涉儀廠商是一家高新技術(shù)企業(yè)，成立以來堅持以技術(shù)創(chuàng)新為發(fā)展基礎(chǔ)，一直致力于精密測量、計量檢測等儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。

經(jīng)過十多年在幾何量測量領(lǐng)域的潛心研究，設(shè)計制造了Super View系列白光干涉儀、GT系列激光跟蹤儀、SJ6000系列激光干涉儀、SJ5100系列高精度測長機(jī)、SJ5700系列輪廓測量儀、SJ5200系列螺紋綜合測量機(jī)、SJ2000系列指示表自動檢定儀等眾多測量、計量設(shè)備。具備了從納米級的微觀形貌檢測到百米級的大尺寸高精度測量，為用戶提供精密測量解決方案的能力。