--- 產品參數 ---
- 穩頻精度 0.005nm
--- 產品詳情 ---
sj6000激光干涉儀測量以干涉技術為核心,可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量;可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;也可以實現對機床回轉軸的測量與校準。
SJ6000機床校準激光干涉儀
sj6000激光干涉儀測量可根據具體測量需求而選擇不同的組件,具有動態測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。
注意事項
對角線測量套裝配置需求:對角線測量套裝+可調轉向鏡
平面度測量配置需求:平面度鏡組+角度鏡組
平行度測量配置需求:依據軸向量程范圍,選擇相應直線度鏡組即可
短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求:短直線度鏡組+垂直度鏡組
長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求:長直線度鏡組+垂直度鏡組
直線度附件:主要應用于Z軸的直線度測量和垂直度測量
產品參數
產品型號: SJ6800
產品名稱: 激光干涉儀
穩頻方式: 雙頻激光雙縱模熱穩頻
穩頻精度: 0.04ppm
測量距離:≤(0-80)m(無需遠距離線性附件)
測量分辨力:1nm
測量至大速度:4m/s
線性測量精度:±(0.2μm+0.3μm/m) (0~40)℃
角度測量精度:±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R為顯示值,單位:″;M為測量距離,單位:m)
主要特點:絕對測量、恒測力、無阿貝誤差
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