--- 產品參數 ---
- 類型 白光干涉儀
- 測量范圍 140x110x100mm
- 外形尺寸 900x700x604mm
- 重量 90kg
- 測量分辨率 0.1nm
--- 數據手冊 ---
--- 產品詳情 ---
現代化工業生產中,表面微觀形貌對工程零件的許多技術性能的評價具有直接的影響,所以只有準確的三維形貌測量,才能更全面、更真實地反映零件表面的特征以及衡量表面的質量,所以說表面三維微觀形貌的測量就越來越重要。
中圖儀器研發生產的SuperView W1光學輪廓儀白光干涉儀,利用白光干涉掃描技術為基礎,結合精密Z向掃描模塊和優異的3D重建算法組成測量系統,從納米到毫米范圍內的樣品表面微觀形貌檢測都可以做到。幾乎在任何超精密加工行業領域中都可以進行從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等的高精度測量。
產品參數
產品性能
縱向掃描:≤10.3mm,與選用物鏡相關
掃描幀速:50FPS/s
粗糙度重復性:0.005nm(依據ISO 25178-2012)
光學分辨率:0.4μm~3.7μm,與選用物鏡相關
最大點數:1048576(標準)
臺階測量:準確度≤0.3%,重復性≤0.08%1σ
標準配置
可選配置
SuperView W1光學輪廓儀白光干涉儀分辨率0.1μm,重復性0.1%,具有測量精度高、分析功能強大、測量參數齊全、使用方便等優點,其獨特的光源模式,保證了它能夠適用于從光滑到粗糙等各種精密器件的表面質量檢測。操作簡便,可自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數。應用領域廣泛,適用于各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、彎曲變形情況、磨損情況、表面缺陷、波紋度、臺階高度、孔隙間隙、面形輪廓等表面形貌特征進行測量和分析。
應用領域
應用案例
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