動態壓力傳感器發展趨勢

 傳統的動態壓力測量采用壓電式壓力傳感器，它利用石英、壓電陶瓷等材料在受到突變力時產生電荷的壓電效應制成。由于它有優良的高頻動態性能（一般數百千赫茲的固有頻率和微秒級的上升時間），因此至今仍是動態壓力傳感器的主導產品之一。然而它的使用不便、抗擾度差、低頻特性差（數赫茲以下的低頻特性很差）等天生缺點，使其在既要求動態瞬變過程，又要求慢變靜態過程的全程壓力變化的工業應用中顯得很不勝任。動態壓力傳感器的另一流派，利用單晶硅材料壓阻效應制成的壓阻動態壓力傳感器在近年則得到迅速發展，由于其在精度、壽命、可靠性、兼顧靜態與動態測量等方面的優點，已經成為壓力測量的主流。目前，隨著技術的不斷進步，壓阻動態壓力傳感器的動態性能已逐漸超越壓電式壓力傳感器，并成為未來動態壓力傳感器的主要發展方向。公司擁有壓阻式高頻動態壓力傳感器相關授權國家發明專利7項，牽頭制定了GB/T 26807-2011《硅壓阻式動態壓力傳感器》國家標準一項和JB/T11206-2011《硅壓阻式微型、薄型壓力傳感器》國家機械行業標準一項。該項技術獲2017年國家技術發明二等獎。高頻動態相關產品性能指標獲得了航空304所、航天102所的高度評價與認可，多用于動態計量標準壓力傳感器。