中圖國(guó)產(chǎn)激光干涉儀品牌SJ6000利用激光干涉現(xiàn)象來實(shí)現(xiàn)非接觸式測(cè)量，其光波波長(zhǎng)可以直接對(duì)米進(jìn)行定義，具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。
產(chǎn)品配置
SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。
主要鏡組圖
其中，線性鏡組為標(biāo)配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成。可滿足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測(cè)量與分析，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。
產(chǎn)品功能
（1）可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量；
（2）可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；
（3）可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn)；
（4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；
（5）具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；
（6）中圖國(guó)產(chǎn)激光干涉儀品牌SJ6000支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
在機(jī)床加工領(lǐng)域的應(yīng)用
1.測(cè)量機(jī)床導(dǎo)軌的直線度和平行度。
導(dǎo)軌是機(jī)床中的重要零部件，直線度和平行度的誤差會(huì)直接影響機(jī)床的加工精度和穩(wěn)定性。激光干涉儀可以通過測(cè)量導(dǎo)軌上的干涉條紋來確定其直線度和平行度的偏差，從而指導(dǎo)后續(xù)的優(yōu)化和調(diào)整。
2.測(cè)量機(jī)床工作臺(tái)的平面度和垂直度。
機(jī)床工作臺(tái)的平面度和垂直度直接影響工件的加工精度和質(zhì)量。通過激光干涉儀測(cè)量工作臺(tái)上的干涉條紋，可以快速發(fā)現(xiàn)工作臺(tái)的不平整和非垂直狀態(tài)，并及時(shí)進(jìn)行調(diào)整和修正，確保工件的加工精度和穩(wěn)定性。
3.測(cè)量機(jī)床主軸的同心度和軸向垂直度。
機(jī)床主軸的同心度和軸向垂直度是決定機(jī)床加工精度的關(guān)鍵因素。通過激光干涉儀測(cè)量主軸上的干涉條紋，可以準(zhǔn)確判斷主軸的同心度和軸向垂直度是否達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)要求，從而為后續(xù)的機(jī)床調(diào)整和校準(zhǔn)提供依據(jù)。
4.其它
除了上述應(yīng)用，激光干涉儀還可以用于測(cè)量機(jī)床各個(gè)部件之間的相對(duì)位置和尺寸關(guān)系，從而檢測(cè)和糾正機(jī)床的裝配誤差。此外，激光干涉儀還可以用于檢測(cè)機(jī)床在運(yùn)行過程中的變形和振動(dòng)情況，及時(shí)發(fā)現(xiàn)機(jī)床的故障和異常狀態(tài)，保證機(jī)床的穩(wěn)定性和可靠性。
中圖國(guó)產(chǎn)激光干涉儀品牌以光波為載體,利用激光作為長(zhǎng)度基準(zhǔn),是高精度、高靈敏度的測(cè)量?jī)x器。激光干涉儀不僅廣泛用于數(shù)控機(jī)床、激光切割機(jī)、光刻機(jī)等，在計(jì)量檢定領(lǐng)域也能大展身手。
在計(jì)量檢定領(lǐng)域的應(yīng)用
1、測(cè)長(zhǎng)機(jī)檢定
傳統(tǒng)的測(cè)長(zhǎng)機(jī)示值誤差主要采用量塊進(jìn)行校準(zhǔn)，受環(huán)境因素影響較大，校準(zhǔn)條件要求高，且量程大于1m的測(cè)長(zhǎng)機(jī)需要分段校準(zhǔn)，效率低，而使用激光干涉儀進(jìn)行校準(zhǔn)，不僅可以提高效率，還可通過環(huán)境補(bǔ)償單元對(duì)空氣溫度、壓力、濕度和材料溫度進(jìn)行補(bǔ)償，提高校準(zhǔn)精度。
2、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)示值誤差測(cè)量
隨著三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)技術(shù)的更新和發(fā)展，使用傳統(tǒng)的量塊、球板等已經(jīng)難以滿足大型三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的檢測(cè)要求，激光干涉儀測(cè)量準(zhǔn)確度高，測(cè)量范圍大，測(cè)量數(shù)據(jù)豐富，適合測(cè)量三坐標(biāo)各項(xiàng)幾何誤差。
3、位移傳感器檢定
利用激光干涉儀對(duì)位移傳感器檢定成為發(fā)展趨勢(shì),其特點(diǎn)是測(cè)量精度高、反應(yīng)速度快、易于數(shù)字化測(cè)量。在測(cè)量中設(shè)計(jì)一個(gè)精密導(dǎo)軌,將反射鏡同被測(cè)傳感器放在一起同步檢測(cè),從而形成對(duì)比，位移傳感器自動(dòng)檢定系統(tǒng)與SJ6000激光干涉儀(標(biāo)準(zhǔn))對(duì)定長(zhǎng)位移進(jìn)行測(cè)試對(duì)比,得出往復(fù)測(cè)試實(shí)驗(yàn)結(jié)果。
4、影像儀定位精度測(cè)量
影像儀傳統(tǒng)檢測(cè)方法采用線紋尺比對(duì)法進(jìn)行，存在著檢測(cè)精度低、測(cè)量系統(tǒng)誤差大、成因分析功能缺失、改善方向不精準(zhǔn)、 檢測(cè)效率低下等問題。使用激光干涉儀可以對(duì)影像儀的定位誤差進(jìn)行快速檢測(cè)，對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行運(yùn)算分析，利用軟件生產(chǎn)補(bǔ)償文件快速實(shí)施二維平面多點(diǎn)位補(bǔ)償，可大大降低設(shè)備制造過程中的精度檢測(cè)難度、提升檢測(cè)效率及補(bǔ)償效率。
部分技術(shù)規(guī)格
| 穩(wěn)頻精度 | 0.05ppm |
| 動(dòng)態(tài)采集頻率 | 50 kHz |
| 預(yù)熱時(shí)間 | ≤ 6分鐘 |
| 工作溫度范圍 | (0~40)℃ |
| 存儲(chǔ)溫度范圍 | (-20~70)℃ |
| 環(huán)境濕度 | (0~95)%RH |
| 線性測(cè)量距離 | (0~80)m (無需遠(yuǎn)距離線性附件) |
| 線性測(cè)量精度 | 0.5ppm (0~40)℃ |
| 角度軸向量程 | (0~15)m |
| 角度測(cè)量精度 | ±(0.02%R+0.1+0.024M)″ |
| 平面度軸向量程 | (0~15)m |
| 平面度測(cè)量精度 | ±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值，單位：μm；M為測(cè)量距離，單位：m) |
| 直線度軸向量程 | 短距離(0.1~4.0)m;長(zhǎng)距離(1.0~20.0)m |
| 直線度測(cè)量精度 | 短距離±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm長(zhǎng)距離±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm |
| 垂直度軸向量程 | 短距離(0.1～3.0)m;長(zhǎng)距離(1.0～15.0)m |
| 垂直度測(cè)量精度 | 短距離±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;長(zhǎng)距離±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m |
注意事項(xiàng)：
平面度測(cè)量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組
平行度測(cè)量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍，選擇相應(yīng)直線度鏡組即可
短垂直度測(cè)量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組
長(zhǎng)垂直度測(cè)量(1.0~20.0)m配置需求：長(zhǎng)直線度鏡組＋垂直度鏡組
直線度附件：主要應(yīng)用于Z軸的直線度測(cè)量和垂直度測(cè)量
懇請(qǐng)注意：因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請(qǐng)諒解。
如有疑問或需要更多詳細(xì)信息，請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。
