--- 產(chǎn)品參數(shù) ---
- 型號 PFA、PTFE
--- 產(chǎn)品詳情 ---
在半導體行業(yè),隨著技術(shù)的不斷進步和芯片尺寸的縮小,對生產(chǎn)環(huán)境的純度和清潔度要求日益嚴苛。半導體制造過程涉及多個關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié),包括但不限于光刻、蝕刻、沉積、離子注入和化學機械研磨等。這些環(huán)節(jié)對環(huán)境中的微粒、化學污染物和金屬雜質(zhì)的控制極為重要,因為這些污染物的存在會嚴重影響芯片的性能和生產(chǎn)良率。
為了確保生產(chǎn)環(huán)境的高純度,半導體工廠必須采用先進的過濾系統(tǒng),以有效去除生產(chǎn)過程中涉及的液體和氣體介質(zhì)中的顆粒物、化學蒸氣和氣體雜質(zhì)。這些過濾系統(tǒng)必須能夠承受極端的化學反應條件和高溫環(huán)境,因為半導體制造工藝常常在這些苛刻條件下進行。因此,過濾材料必須具備卓越的耐化學性和耐高溫性,以確保在這些極端條件下也能提供持續(xù)穩(wěn)定的過濾性能。
Dexmet延展過濾支撐網(wǎng)是專為半導體微電子行業(yè)等苛刻環(huán)境設計的高性能過濾解決方案。采用精密制造技術(shù),精確控制濾網(wǎng)的厚度、孔徑和圖案,滿足高精度過濾需求。主要材料為耐化學和耐高溫的PFA和PTFE,確保在極端條件下提供持續(xù)穩(wěn)定的過濾性能。Dexmet支持高度定制化,以優(yōu)化超細膜層結(jié)構(gòu),防止變形,保持過濾效率。定制化能力使其成為滿足特定應用需求的理想選擇。
與此同時,Dexmet延展過濾支撐網(wǎng)作為增強過濾膜支撐材料,在終端過濾折疊式或螺旋纏繞濾芯中作為分離層/進料層/排水層,發(fā)揮關(guān)鍵作用。
Dexmet延展過濾支撐網(wǎng)的特點
● 強化微粒過濾與污染控制:通過精密的網(wǎng)眼結(jié)構(gòu),有效攔截微粒和污染物,從而減少晶片污染并提升半導體產(chǎn)品的質(zhì)量和良率。
● 均勻的化學品分布與流動一致性:確保在半導體制造過程中化學品和氣體的均勻分布和穩(wěn)定流動,對于材料的均勻沉積和蝕刻過程至關(guān)重要。
● 動態(tài)流動條件下的穩(wěn)定性和耐用性:在波動或高流速條件下保持結(jié)構(gòu)完整性和穩(wěn)定性,減少介質(zhì)塌陷或移位的風險,同時提高過濾器的使用壽命,降低維護和更換頻率,從而降低運營成本。
● 化學和氣體過濾中的有效分離:提供高效、穩(wěn)定的過濾性能,確保在化學氣相沉積(CVD)和蝕刻等關(guān)鍵工藝中實現(xiàn)有效分離,降低污染風險。
● 清理與維護的便捷性:一體成型的延展網(wǎng)結(jié)構(gòu)消除了交叉點,簡化了清理過程,允許直接用水清洗或擦除,提高生產(chǎn)效率并減少停機時間。
● 高過濾效率與空間利用率:Dexmet延展網(wǎng)的過濾面積高達70%,而編織網(wǎng)僅有30-50%。更大的接觸過濾面積,顯著提高了過濾效率和空間利用率,從而加快了過濾速度。
● 產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性和可擴展性:從試驗到大規(guī)模生產(chǎn),Dexmet延展網(wǎng)提供一致的效果和效率,確保了產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性和生產(chǎn)過程的可擴展性。另外,作為能夠生產(chǎn)PFA和PTFE延展網(wǎng)的少數(shù)制造商之一,Dexmet的產(chǎn)品已被全球領(lǐng)先的半導體公司廣泛認可和信賴。
總的來說,Dexmet延展過濾支撐網(wǎng)憑借其卓越的耐化學性和耐高溫性,精密定制的能力以及在各種動態(tài)條件下的穩(wěn)定性,已成為半導體微電子行業(yè)中不可或缺的高性能過濾解決方案。它不僅強化了微粒過濾和污染控制,還確保了化學品分布的均勻性和流動的一致性,有效提高了半導體制造過程中的工藝控制精度。
在動態(tài)流動條件下,Dexmet延展網(wǎng)展現(xiàn)了出色的穩(wěn)定性和結(jié)構(gòu)完整性,為過濾器提供了可靠的支持,避免了介質(zhì)塌陷或移位。此外,在化學和氣體過濾中展現(xiàn)出的有效分離能力,進一步降低了污染風險,保證了半導體設備的高純度,為半導體行業(yè)提供了一種長期、穩(wěn)定和經(jīng)濟高效的解決方案。
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