中圖儀器CEM3000臺式掃描電子電鏡是一款用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析的緊湊型設備。憑借CEM3000系列空間分辨率出色和易用性強，用戶能夠非?？旖莸剡M行各項操作。甚至在自動程序的幫助下，無需過多人工調(diào)節(jié)，便可一鍵得到理想的拍攝圖片。
CEM3000系列上還運用了快速抽放氣設計，讓用戶在使用時不再等待，且全系列可選配低真空系統(tǒng)，以便精準調(diào)節(jié)樣品倉內(nèi)真空度，滿足不同樣品的觀測需求。
產(chǎn)品功能
1）臺式電鏡緊湊的外型，CEM3000系列臺式掃描電鏡能夠不受場地尺寸制約，真正做到了空間適用性，用戶甚至可以將其就近擺放在自己的桌面上。同時CEM3000也能根據(jù)用戶需求，輕松移機，一臺機器多處開花；
2）高分辨率，能夠?qū)ξ⒊叽缣卣鬟M行觀測分析，滿足用戶的觀測需求；
3）快速抽放氣，憑借真空系統(tǒng)設計，該系列臺式電鏡縮短了用戶抽放氣的等待時間；
4）高易用性，能夠快速成像、一鍵出片，用戶使用自動調(diào)節(jié)功能，無需過多人工操作，就可得到高質(zhì)量拍攝圖片；
5）大樣品倉，CEM3000A在保證較小外型尺寸同時，具有比肩立式電鏡的大倉室，從而容納更大尺寸樣品；
6）高抗振防磁性能，全系列電鏡均具有優(yōu)秀的抗干擾能力，特別是CEM3000B使用本公司技術，基于復合抗振手段，將掃描電鏡抗振性能提升到了新的高度；
7）可選配低真空模式，保證用戶能夠根據(jù)需要設定電鏡樣品倉內(nèi)真空度，進而對不同類型的樣品進行觀測；
8）能夠提供多種成像參數(shù)供用戶選擇，滿足專業(yè)用戶的調(diào)節(jié)需求；
9）搭配有多種探頭，能夠?qū)悠愤M行多種手段的分析。
應用領域
CEM3000臺式掃描電子電鏡外型緊湊，空間適用性強，整機采用大量的抗干擾設計，避免使用環(huán)境造成的影響，拓寬了應用范圍。同時，該系列臺式電鏡具有非常豐富的自動調(diào)節(jié)功能，能夠?qū)Σ煌愋偷臉悠愤M行觀測，具有高空間分辨率。
用戶可在CEM3000系列臺式掃描電鏡上搭配不同的探頭，同時接收多種信號，對樣品進行分析。
應用范例：
不同于立式電鏡，CEM3000系列臺式掃描電鏡無需占據(jù)大量空間來容納整個電鏡系統(tǒng)，這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上，在用戶手邊實時呈現(xiàn)所得結(jié)果。
此外，該系列臺式電鏡也可以進入手套箱、車廂還是潛水器等狹小空間內(nèi)大顯身手。即便在一些常規(guī)電鏡難以耐受的工作環(huán)境中，該系列臺式電鏡也能憑借抗振防磁技術，展現(xiàn)出色的性能。
性能特色
1、緊湊外型
該系列臺式掃描電鏡整機經(jīng)過深入優(yōu)化，在結(jié)構(gòu)方面達到了優(yōu)尺寸利用率，確保其出色的性能不再受環(huán)境尺寸的制約，無論是日常的工作桌面、還是狹小空間，CEM3000系列臺式掃描電鏡總能陪伴用戶出現(xiàn)在有需要的地方。
2、自動調(diào)節(jié)
用戶可借助自動調(diào)節(jié)功能，無需過多人工調(diào)節(jié)，便可一鍵得到理想的拍攝圖片。
3、高分辨率
CEM3000系列電鏡具有出色的電子光學系統(tǒng)，優(yōu)于4nm的空間分辨率，保證了高放大倍數(shù)下的清晰成像，能夠滿足納米尺度的形貌觀測需求。
4、高抗振防磁性能
該系列臺式電鏡采用特殊設計的隔振措施，能夠減小環(huán)境中振動對電鏡的干擾，并且全系列電鏡具有強抗電磁干擾性能，消除場地因素對電鏡的影響。
其中CEM3000B更是采用本公司設計的高性能復合抗振系統(tǒng)來消除外界振動對電鏡的影響，即使是在高放大倍數(shù)下成像，用戶也不用擔心環(huán)境振動對電鏡產(chǎn)生的干擾。
5、選配低真空系統(tǒng)
根據(jù)用戶需求，可選配低真空系統(tǒng)。該系統(tǒng)讓用戶可以任意設定電鏡工作時的倉內(nèi)真空度(倉內(nèi)真空度低可達100Pa)，以滿足不同類型樣品的觀測需求。
6、操縱手柄
操作手柄上集成了多個方向位移控制，自動調(diào)整及自動對焦、自動消像散等功能，可快速完成觀測位置調(diào)整及自動成像。
7、豐富的定制功能
根據(jù)特定行業(yè)的需求，定制了自動化的顆粒度統(tǒng)計、孔隙率測量等選配功能。
可根據(jù)用戶需求提供全自動軟件定制服務。
8、高精度樣品臺
該系列臺式電鏡采用全新設計的樣品臺，各自動軸均保證了動作精度和高重復性。
9、高襯度成像系統(tǒng)
CEM3000臺式掃描電子電鏡采集系統(tǒng)具有高信噪比，使用戶在快速掃描時也能獲取到充足的信號。即使針對微弱信號，CEM3000系列臺式電鏡搭載的處理算法亦可將信號從背底中進行高效剝離，確保成像質(zhì)量。
部分技術指標
型號 | CEM3000A（大樣品倉型） | |
電子槍 | 燈絲 | 鎢燈絲 |
分辨率 | 優(yōu)于4nm(SE)，優(yōu)于8nm(BSE) @20kV | |
加速電壓 | 1 ~ 20kV | |
放大倍數(shù) | 電子圖：40 ~ 200,000×（可選配大圖拼接） | |
探測器 | 二次電子 | 標配 |
背散射電子 | 標配（四象限高分辨探頭） | |
能譜儀 | 選配 | |
自動化軟件 | 標配：自動合軸、自動聚焦、自動消像散、一鍵圖像增強 | |
選配：顆粒度統(tǒng)計、孔隙率測量、纖維測量、三維粗糙度重建 | ||
真空系統(tǒng) | 真空度 | 高真空：優(yōu)于9×10-3Pa 低真空：5 ~ 100 Pa（選配） |
抽真空時間 | 低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min | |
樣品臺 | 自動軸 | X，Y，T |
手動軸 | R，Z | |
行程范圍 | X: 50mm | |
Y: 50mm | ||
R: 0°~360°（手動旋轉(zhuǎn)、電子束旋轉(zhuǎn)） | ||
T: -22.5°~ +22.5° | ||
Z: 45mm | ||
最大樣品尺寸 | 70mm×70mm（水平） 45mm（高度） | |
倉內(nèi)相機 | 導航相機 | 標配高分辨彩色相機 |
側(cè)視相機 | 標配高分辨紅外相機 | |
操作系統(tǒng) 圖片尺寸 | Windows10 (64bit) | |
640×480 | ||
1280×960 | ||
2560×1920 | ||
5120×3840 | ||
10240×7680 | ||
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