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中圖儀器

深圳市中圖儀器股份有限公司是一家高新技術企業,致力于全尺寸鏈精密測量儀器及設備的研發、生產和銷售。

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數控機床測量激光干涉儀

型號: SJ6000
品牌: 中圖儀器(中圖儀器)

--- 產品參數 ---

  • 注釋 更多詳細產品信息,請聯系我們獲取

--- 產品詳情 ---

中圖儀器SJ6000數控機床測量激光干涉儀是國產光學干涉儀品牌,可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量;在動態測量軟件配合下,可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析,如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。

 

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技術規格

穩頻精度0.05ppm
動態采集頻率50 kHz
預熱時間≤ 6分鐘
工作溫度范圍(0~40)℃
存儲溫度范圍(-20~70)℃
環境濕度(0~95)%RH
線性測量距離(0~80)m (無需遠距離線性附件)
線性測量精度0.5ppm (0~40)℃
角度軸向量程(0~15)m
角度測量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″

產品功能

(1)可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量;

(2)可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;

(3)可實現對機床回轉軸的測量與校準;

(4)可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,為設備誤差修正提供依據;

(5)SJ6000數控機床測量激光干涉儀具有動態測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等;

(6)支持手動或自動進行環境補償。

傳感器線性精度測量

 

產品配置

SJ6000激光干涉儀系統具有豐富的模塊化組件,可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。

 

主要鏡組圖800.jpg

▲主要鏡組圖

其中,線性鏡組為標配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成。可滿足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補償。

 

SJ6000數控機床測量激光干涉儀測量分辨率可達0.01″,系統測量精度為±1″,基準WR50自動精密轉臺重復精度為0.2″。主要由SJ6000激光干涉儀主機、角度鏡組、WR50自動精密轉臺、SJ6000回轉軸測量軟件構成。

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