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中圖儀器

深圳市中圖儀器股份有限公司是一家高新技術企業,致力于全尺寸鏈精密測量儀器及設備的研發、生產和銷售。

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白光干涉儀粗糙度儀

型號: SuperViewW1
品牌: 中圖儀器(中圖儀器)

--- 產品參數 ---

  • 注釋 更多詳細產品信息,請聯系我們獲取

--- 產品詳情 ---

白光干涉儀粗糙度儀以白光干涉技術原理,對各種精密器件表面進行納米級測量的儀器,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

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技術指標

型號

W1

光源白光LED
影像系統1024×1024
干涉物鏡

標配:10×

選配:2.5×、5×、20×、50×、100×

光學ZOOM
 

標配:0.5×

選配:0.375×、0.75×、1×

標準視場0.98×0.98㎜(10×物鏡,光學ZOOM 0.5×)

 

XY位移平臺
 

尺寸
 
320×200㎜
移動范圍

140×100㎜

負載10kg
控制方式電動
Z軸聚焦行程100㎜
控制方式電動
形貌重復性0.1nm
粗糙度RMS重復性0.005nm
 
臺階測量

準確度:0.3%;重復性:0.08%(1σ)

可測樣品反射率0.05%~100%
主機尺寸700×606×920㎜

 

中圖儀器SuperViewW1白光干涉儀粗糙度儀可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。

 

產品功能

1)白光干涉儀粗糙度儀設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;

2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能;

3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區域測量功能;

4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區域提取等四大模塊的數據處理功能;

5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

大尺寸樣品_拼接測量.jpg
大尺寸樣品_拼接測量

 

 

應用領域
 

對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

結果組成:

1、三維表面結構:粗糙度,波紋度,表面結構,缺陷分析,晶粒分析等;

2、二維圖像分析:距離,半徑,斜坡,格子圖,輪廓線等;

3、表界面測量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;

4、薄膜和厚膜的臺階高度測量;

5、劃痕形貌,摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量;

6、微電子表面分析和MEMS表征。

新建項目6.jpg

 

粗糙度分析操作步驟:

1. 將樣品放置在夾具上,確保樣品狀態穩定;

2. 將夾具放置在載物臺上;

3. 檢查電機連接和環境噪聲,確認儀器狀態;

4. 使用操縱桿調節三軸位置,將樣品移到鏡頭下方并找到樣品表面干涉條紋;

5. 完成掃描設置和命名等操作;

6. 點擊開始測量(進入3D視圖窗口旋轉調整觀察一會);

7. 進入數據處理界面,點擊“去除外形",采用默認參數,點擊應用獲取樣品表面粗糙度輪廓;

8. 進入分析工具模塊,點擊參數分析,直接獲取面粗糙度數據,點擊右側參數標準可更換參數標準,增刪參數類型;

9. 如果想獲取線粗糙度數據,則需提取剖面線;

10. 進入數據處理界面,點擊“提取剖面"圖標,選擇合適方向剖面線進行剖面輪廓提取;

11. 進入分析工具界面,點擊“參數分析"圖標,點擊右側參數標準,勾選所需線粗糙度相關參數,即可獲取線粗糙度Ra數據。

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