--- 產(chǎn)品參數(shù) ---
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--- 產(chǎn)品詳情 ---
中圖儀器SJ5720光學(xué)曲面測(cè)量?jī)x是一款集成表面粗糙度和輪廓測(cè)量的高精度光學(xué)曲面測(cè)量?jī)x。它采用超高精度納米衍射光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)、超高直線度研磨級(jí)摩擦導(dǎo)軌、高性能直流伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)、高穩(wěn)定性氣浮隔震系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù),實(shí)現(xiàn)對(duì)球面及非球面光學(xué)元器件表面粗糙度和輪廓的高精度測(cè)量和分析。
SJ5720光學(xué)曲面測(cè)量?jī)x專業(yè)為非球面鏡片的大曲面測(cè)試,通過高穩(wěn)定性的氣浮隔震系統(tǒng)保證儀器不受外界振動(dòng)影響,計(jì)算機(jī)采用高精度標(biāo)定系統(tǒng)對(duì)采樣數(shù)據(jù)進(jìn)行修正標(biāo)定,最終還原出工件輪廓信息并以曲線圖顯示出來,通過軟件提供的分析工具可對(duì)輪廓及微觀輪廓進(jìn)行非球面參數(shù)分析、各種粗糙度參數(shù)、輪廓參數(shù)分析。
測(cè)量功能
1.非球面基本參數(shù)輸入功能:凸凹形狀、R-頂點(diǎn)半徑、K-圓錐常數(shù),多次項(xiàng)常數(shù):A1、A2…A40等;
2.非球面參數(shù)測(cè)量評(píng)定:微觀輪廓參數(shù)Pt、Pa、Fig;傾角參數(shù)Smn、Smx;水平軸線夾角Tilt;光軸與輪廓的距離參數(shù)Xp、Xv、Xt;均方根粗糙度參數(shù)RMS;斜率參數(shù)Slpe mx、Slpe mx(x)、Slpe rms、Slpe ave;勾選優(yōu)化半徑后計(jì)算頂點(diǎn)半徑誤差參數(shù)Radius Err等。
3.表面粗糙度評(píng)定: R參數(shù)、P參數(shù)、W參數(shù)、核心粗糙度Rcore、Motif等微觀粗糙度參數(shù)。
4.支持輪廓分析功能:創(chuàng)建坐標(biāo)、量測(cè)工具、構(gòu)建特征、可測(cè)幾何量、形位公差等功能。
5.具備自動(dòng)找拐點(diǎn)功能,能按照程序設(shè)置進(jìn)行X軸自動(dòng)找拐點(diǎn)。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
nm級(jí)高精密光學(xué)曲面測(cè)量
1.具有12mm~24mm的大量程粗糙度測(cè)量范圍,分辨率高達(dá)0.1nm,系統(tǒng)殘差小于3nm。
2.高穩(wěn)定性的隔震系統(tǒng),自帶隔震氣浮系統(tǒng),外界的噪聲及其他氣流通過儀器的玻璃罩進(jìn)行了隔離,能確保高精度高穩(wěn)定度的測(cè)量特殊的光學(xué)元器件表面輪廓及粗糙度參數(shù)。
3.超高直線度研磨級(jí)摩擦導(dǎo)軌、特殊紅寶石轉(zhuǎn)軸系統(tǒng)提供轉(zhuǎn)動(dòng)的超高靈敏度及測(cè)量精度。
4.高穩(wěn)定的驅(qū)動(dòng)設(shè)計(jì),確保了驅(qū)動(dòng)運(yùn)行過程中不產(chǎn)生任何的振動(dòng)及干擾,保障了系統(tǒng)掃描運(yùn)動(dòng)精度。
5.專用標(biāo)定器能對(duì)儀器的參數(shù)和測(cè)針針尖磨損進(jìn)行修正補(bǔ)償,使其滿足高精度輪廓測(cè)量。
非球面光學(xué)測(cè)量與分析軟件系統(tǒng)
1.超智能的非球面光學(xué)軟件分析系統(tǒng),專業(yè)定制的非球面測(cè)量軟件系統(tǒng),非球面全參數(shù)都能測(cè)量。
2.根據(jù)GB/T、ISO、JIS等標(biāo)準(zhǔn),自動(dòng)評(píng)價(jià)粗糙度。
3.對(duì)于簡(jiǎn)單的工件只需要設(shè)置測(cè)量長(zhǎng)度即可一鍵測(cè)量。
對(duì)于復(fù)雜的工件,可以工件的任意位置進(jìn)行分段測(cè)量,并做成模板便于輪廓批量測(cè)量。
4、CNC固定坐標(biāo)系模式下,可快速精確地進(jìn)行輪廓批量測(cè)量。
5.自動(dòng)保存測(cè)量結(jié)果,測(cè)量完成后可輸出測(cè)量報(bào)告,形式多樣。
6.軟件操作界面簡(jiǎn)潔直觀,任何人都能輕松設(shè)定和測(cè)量。
智能靈活儀器操縱設(shè)計(jì)
1.測(cè)針一鍵拔插,特殊設(shè)計(jì)的高剛性拔插結(jié)構(gòu),無需鎖螺釘,方便快捷、穩(wěn)定可靠。
2.智能微測(cè)力系統(tǒng),0.5-3mN 測(cè)力檔位可調(diào),可滿足不同工件表面測(cè)量要求,特別是光學(xué)鏡片。
3.各個(gè)運(yùn)動(dòng)軸都有進(jìn)行硬件及軟件保護(hù),降低人員因操作失誤帶來的測(cè)針及儀器損傷。
4.帶舵機(jī)結(jié)構(gòu),可防止掃描陡坡時(shí)的快速下墜。
5.組合調(diào)節(jié)控制手柄可快速完成載物臺(tái)平移,X軸和Z軸定位,測(cè)桿上下擺動(dòng)及速度分級(jí)調(diào)節(jié)功能。
6.電動(dòng)Y軸臺(tái),可實(shí)現(xiàn)單獨(dú)Y軸、XY軸組合自動(dòng)找拐點(diǎn),減少人工找拐點(diǎn)帶來的誤差。
SJ5720光學(xué)曲面測(cè)量?jī)x廣泛應(yīng)用于精密機(jī)械加工、汽車、軸承、機(jī)床、模具、精密五金等行業(yè)。該儀器可以對(duì)零件表面,尤其是大范圍曲面,如圓弧面和球面、異型曲面等進(jìn)行檢測(cè),可分析出非球面參數(shù)、多種粗糙度參數(shù)、微觀輪廓度參數(shù)。是大曲面測(cè)量(光學(xué)鏡片、光學(xué)精密模具、軸承、人工關(guān)節(jié)、齒輪、葉片)領(lǐng)域精細(xì)粗糙度測(cè)量的利器。
部分技術(shù)規(guī)格
型號(hào) | SJ5720-OPT100 | |
輪廓參數(shù) |
測(cè)量范圍 | X:0~100mm |
立柱:0~300mm | ||
Z:±6mm(標(biāo)準(zhǔn)測(cè)針桿)(±12mm:選擇兩倍測(cè)針桿時(shí)) | ||
掃描速度 | 0.05~5mm/s | |
測(cè)量力 | 0.5mN、0.75mN、1mN、2mN、3mN(電子檔位可調(diào)) | |
粗糙度參數(shù) | 適用Ra測(cè)量范圍 | Ra0.012μm~Ra12.5μm(可選更大范圍) |
示值誤差 | Ra0.012μm ~ Ra3.2μm: ≤±(3nm+2.0%A)(A:測(cè)量Ra標(biāo)稱值,μm) Ra3.201μm ~ Ra12.5μm: ≤±(3nm+3.5%A)(A:測(cè)量Ra標(biāo)稱值,μm) | |
非球面測(cè)量參數(shù) | 微觀輪廓參數(shù):Pt、Pa、Fig; 傾角參數(shù):Smx、Smn; 水平軸線夾角參數(shù):Tilt; 光軸與輪廓的距離參數(shù):Xp、Xv、Xt; 均方根粗糙度參數(shù):RMS; 斜率參數(shù):Slpe mx、Slpe mx(x)、Slpe rms、Slpe ave; 頂點(diǎn)半徑誤差參數(shù):Radius Err。 | |
粗糙度測(cè)量參數(shù) | R粗糙度: Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,Ra,Rq,Rsk,Rku,RSm,RPc,Rdq,Rdc,Rmr,Rmax,Rpm,tp,Htp,Pc,Rda,Ry,Sm,S,Rpc,RzJ; 核心粗糙度Rcore: Rk,Rpk,Rvk,Rpkx,Rvkx,Mr1,Mr2,A1,A2,Vo; P輪廓參數(shù): Pa,Pq,Pt,Pz,Pp,Pv,PSm,Psk,Pku,Pdq,Pdc,Pc,PPc,Pmr,Rad,PzJ,Pmax; W波紋度輪廓參數(shù): Wa,Wq,Wt,Wz,Wp,Wv,WSm,Wsk,Wku,Wdq,Wdc,Wmr,Wpc,Wc; Motif參數(shù):R,AR,W,AW,Rx,Wx,Wte; 符合標(biāo)準(zhǔn): GB/T 3505-2009,ISO 4287:1997,ISO13565-2:1996,ASME B46.1-2002, DIN EN ISO 4287:2010,JIS B 0601:2013,JIS B 0601-1994, JIS B 0601-1982,ISO 1302:2002 |
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先進(jìn)封裝廠關(guān)于Bump尺寸的管控2023-09-06 14:26
BumpMetrologysystem—BOKI_1000在半導(dǎo)體行業(yè)中,Bump、RDL、TSV、Wafer合稱先進(jìn)封裝的四要素,其中Bump起著界面互聯(lián)和應(yīng)力緩沖的作用。Bump是一種金屬凸點(diǎn),從倒裝焊FlipChip出現(xiàn)就開始普遍應(yīng)用,Bump的形狀有多種,常見的為球狀和柱狀,也有塊狀等其他形狀,下圖所示為各種類型的Bump。Bump起著界面之間的電氣互聯(lián)和應(yīng)力緩沖的作用,從Bondwire2.2k瀏覽量
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上傳時(shí)間:2024-12-16 15:08
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