TC-Wafer是將高精度溫度傳感器鑲嵌在晶圓表面，對晶圓表面的溫度進行實時測量。通過晶圓的測溫點了解特定位置晶圓的真實溫度，以及晶圓整體的溫度分布，同還可以監控半導體設備控溫過程中晶圓發生的溫度變化，獲得升溫、降溫以及恒溫過程期間的溫度溫度數據，從而了解半導體設備的溫度均勻度。

- 傳輸通道數量可定制;

- 優異的軟件功能，可用圖形及顏色顯示溫度分布狀況;

- 數據可儲存調用;

- 可提供溫度曲線圖，方便直觀的看到溫度變化趨勢

- 真空環境下，溫度傳感器保持高精度和良好的穩定性

測溫范圍：-50℃至1200℃

熱電偶類型：K型

精度：±0.5℃±0.1%讀數

線徑：0.127、0.254mm

測溫點數：1~68個

傳感器引線：可定制

工藝：焊接設計

絕緣材料：石英、Teflon、二氧化硅、陶瓷、PA

測溫探頭接口：DB37、微型插座

晶圓材質：硅片，藍寶石，碳化硅等（基材形狀和尺寸可定制）

晶圓尺寸：50mm，100mm，150mm，200mm，300mm

真空貫通帶：聚酰亞胺扁平電纜，大氣壓可達10-7Torr（長度由客戶指定）

TC-Wafer晶圓溫度測量系統應用于許多行業，包括快速熱處理 (RTP)、快速熱退火 (RTA)、曝光后烘烤 (PEB)、化學氣相沉積 (CVD)、物理氣相沉積 (PVD)、ION 等應用注入、太陽能電池和許多其他熱驅動工藝。智測電子具有高精度溫度測量與控制技術和經驗，支持產品定制