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佛山市翁開爾貿(mào)易有限公司

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油污智能檢測(cè)儀|旋轉(zhuǎn)靶材在綁定貼合前的清潔度量化管控

型號(hào): CleanoSpector
品牌: SITA(析塔)

--- 產(chǎn)品參數(shù) ---

  • 重量 530g
  • 測(cè)量范圍 0…100 %
  • 分辨率 0.1 %
  • 測(cè)量范圍 0…2000 RFU [ 相關(guān)熒光單位]
  • 電源適配器/USB 100...240/5V

--- 產(chǎn)品詳情 ---

油污智能檢測(cè)儀|旋轉(zhuǎn)靶材在綁定貼合前的清潔度量化管控

磁控濺射是制備薄膜材料的主要技術(shù)之一,因其高致密度、優(yōu)良附著性等優(yōu)點(diǎn),在電子薄膜、光學(xué)薄膜、光電薄膜、磁性薄膜和超導(dǎo)薄膜等技術(shù)領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用。隨著上述領(lǐng)域的高速發(fā)展,濺射靶材的需求量急劇增加。濺射靶材通常有兩種:平面靶材和旋轉(zhuǎn)靶材。

平面靶材利用率一般只有20%~30%;隨著技術(shù)的進(jìn)步,逐漸開始向旋轉(zhuǎn)靶過(guò)渡,旋轉(zhuǎn)靶在使用過(guò)程中能夠圍繞在固定的磁控濺射設(shè)備上旋轉(zhuǎn),可360度均勻刻蝕靶面,這樣均勻的使用可使鍍膜均勻、穩(wěn)定性高、成品率高,靶材利用率可高達(dá)80%以上,在使用過(guò)程中不會(huì)出現(xiàn)靶材“結(jié)瘤”現(xiàn)象。

平面靶材 & 旋轉(zhuǎn)靶材

綁定焊接率----靶材濺射質(zhì)量的關(guān)鍵

采用綁定貼合的手段是旋轉(zhuǎn)靶材制造行業(yè)最重要的一類旋轉(zhuǎn)靶材制備手段,把靶材分節(jié)綁定在金屬襯管(通常為不銹鋼或者鈦材料制備)上,以提高導(dǎo)熱性能和強(qiáng)度。

目前旋轉(zhuǎn)靶材的綁定基本工藝為:將內(nèi)表面金屬化的靶管套在經(jīng)過(guò)處理的襯管外表面,靶管和金屬襯管之間通過(guò)金屬焊料(通常為金屬銦)粘結(jié)。在綁定的過(guò)程中,需要對(duì)金屬襯管和靶管進(jìn)行加熱,然后把熔化的金屬焊料填充到靶管和金屬襯管的縫隙里,隨后冷卻、焊料固化,將靶管牢牢地固定在襯管上。

綁定焊接率(貼合率)的質(zhì)量直接關(guān)系到靶材濺射過(guò)程中的導(dǎo)熱效果,如果綁定后靶管、背管和銦層貼合效果不夠,在濺射過(guò)程中會(huì)出現(xiàn)導(dǎo)電不良,散熱效果不好,導(dǎo)致局部受熱不均勻,當(dāng)溫度超過(guò)焊料的熔點(diǎn),金屬焊料就會(huì)熔化流出滴落在膜面上,或者導(dǎo)致靶材受熱不均勻開裂(陶瓷靶),開裂的靶材碎片損傷薄膜表面的質(zhì)量。因此對(duì)旋轉(zhuǎn)靶材進(jìn)行高質(zhì)量的綁定貼合,提升焊接率(貼合率)可以有效提升后續(xù)磁控濺射鍍膜的質(zhì)量。

德國(guó)析塔SITA油污智能檢測(cè)儀---提高旋轉(zhuǎn)靶材綁定焊接率的關(guān)鍵

德國(guó)析塔SITA清潔度儀可以量化靶管表面清潔度情況,通過(guò)德國(guó)析塔SITA清潔度儀實(shí)時(shí)測(cè)量靶管表面清潔度情況,確保后續(xù)金屬化及綁定貼合工序時(shí)靶管表面無(wú)油污,提高焊接率。

RFUrelative fluorescence units (相對(duì)熒光單位),常被用于做表面殘留污染物檢測(cè),數(shù)值越大,則表明測(cè)試點(diǎn)的各類有機(jī)污染物(拉伸油、切削油、清洗劑、脫模蠟、膠黏劑、助焊劑等)殘留量越大。

德國(guó)析塔SITA清潔度儀

德國(guó)析塔SITA表面清潔度儀采用共焦法原理,通過(guò)光源發(fā)射出最佳波長(zhǎng)的UV光檢測(cè)金屬表面的污染物,內(nèi)置的傳感器精準(zhǔn)探測(cè)污染物引起的熒光強(qiáng)度,該熒光強(qiáng)度的大小取決于基材表面有機(jī)物殘留情況,從而能精準(zhǔn)量化檢測(cè)金屬表面清潔度。

旋轉(zhuǎn)靶材在綁定貼合前的清潔度量化管控客戶實(shí)例

某國(guó)內(nèi)靶材制造商,在旋轉(zhuǎn)靶材進(jìn)行研磨、切割清洗后會(huì)對(duì)靶管進(jìn)行清潔度量化管控,確保靶管內(nèi)表面無(wú)肉眼可見(jiàn)油污或清洗劑殘留后才允許進(jìn)行后續(xù)的金屬化及綁定貼合工序,以確保綁定焊接率(貼合率)。

測(cè)量過(guò)程

樣品:5個(gè)樣品

測(cè)量?jī)x器:德國(guó)析塔SITA表面清潔度檢測(cè)儀CleanoSpector

測(cè)量模式:RFU值(相對(duì)熒光單位,RFU值越高,污染程度越大)

測(cè)量值:在靶管上隨機(jī)選取10個(gè)測(cè)試點(diǎn),測(cè)試結(jié)果取平均值;

以下為使用德國(guó)析塔SITA清潔度儀測(cè)試靶管不同位置清潔度的測(cè)試結(jié)果,由于油污分布不均勻,因此不同位置的清潔度也不一樣:

 測(cè)試點(diǎn)(單位:RFU)平均值
(單位:RFU)
測(cè)試樣品P1P2P3P4P5P6P7P8P9P10

剛燒結(jié)完

 

(無(wú)油污)

 

0.30.30.20.10.10.10.10.30.70.10.22

燒結(jié)完

 

(倉(cāng)庫(kù)放置幾個(gè)月)

 

27.725.527.684.157.315.491.69.9145.360.859.48

開裂殘靶

 

(殘次品)

 

68.521.5128.67368.7/////72.06

未清洗

 

(研磨、切割后肉眼可見(jiàn)污染區(qū))

 

22.530.683.397.522.415.712.22439.354.341.98

清洗后

 

(肉眼不可見(jiàn)污染物)

 

4.466.46.85.39.79.48.36.64.66.58

測(cè)量數(shù)據(jù)分析

靶管表面清潔度情況


 

如上圖所示,可以得出以下結(jié)論:

①剛燒結(jié)完的靶管工件,RFU值低,說(shuō)明靶材表面很干凈,無(wú)油污

②靶管燒結(jié)完后在倉(cāng)庫(kù)放置期間,受到污染, RFU值升高

③開裂殘靶次品RFU值高,清潔度很差

④研磨、切割后的靶管未清洗前RFU值高,說(shuō)明表面不干凈,存在污染

⑤清洗后的靶管RFU值低,說(shuō)明靶管清洗效果較理想
 

德國(guó)析塔SITA油污智能檢測(cè)儀能量化測(cè)出靶管清洗前后的清潔度差異。在旋轉(zhuǎn)靶材的綁定工藝前,使用德國(guó)析塔SITA表面清潔度儀可以更好幫助企業(yè)判斷靶管表面清洗情況,以提供足夠干凈的靶管進(jìn)行后續(xù)綁定工藝,從而保證磁控濺射鍍膜的質(zhì)量。

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