--- 產品參數 ---
- 產地 日本
--- 產品詳情 ---
因產品配置不同, 價格貨期需要電議, 圖片僅供參考, 一切以實際成交合同為準
上海伯東日本原裝進口適合小規模量產使用和實驗室研究的離子蝕刻機, 一般通氬氣 Ar, 無污染, 內部使用美國 KRI 考夫曼離子源 KDC 40 產生轟擊離子; 終點檢出器采用 Pfeiffer 殘余質譜監測當前氣體成分, 判斷刻蝕情況.
基板尺寸 | φ4 X 1wfr |
可選 |
樣品臺 | 直接冷卻(水冷)0-90 度旋轉 | |
離子源 | 4 cm,8cm,10cm,16cm 考夫曼離子源 | |
均勻性 | ±5% for 4”Ф | |
硅片刻蝕率 | 20 nm/min | |
溫度 | <100 |
伯東離子蝕刻機主要優點
1. 干式制程的微細加工裝置, 使得在薄膜磁頭, 半導體元件, MR sensor 等領域的開發研究及量產得以廣泛應用.
2. 物理蝕刻的特性, 無論使用什么材料都可以用來加工, 所以各種領域都可以被廣泛應用.
3. 配置使用美國考夫曼離子源
4. 射頻角度可以任意調整, 蝕刻可以根據需要做垂直, 斜面等等加工形狀.
5. 基板直接加裝在直接冷卻裝置上, 所以可以在低溫環境下蝕刻.
6. 配置公轉自轉傳輸機構, 使得被蝕刻物可以得到比較均勻平滑的表面.
7. 機臺設計使用自動化的操作流程, 所以可以有非常友好的使用生產過程.
離子蝕刻機 10IBE 組成:
離子蝕刻機通氬氣 Ar 不同材料的蝕刻速率:
Hakuto 日本原裝設計制造離子刻蝕機 IBE, 提供微米級刻蝕, 滿足所有材料的刻蝕, 即使對磁性材料,黃金 Au, 鉑 Pt, 合金等金屬及復合半導體材料, 這些難刻蝕的材料也能提供蝕刻. 可用于反應離子刻蝕 RIE 不能很好刻蝕的材料. 自 1970年至今, Hakuto 伯東已累計交付約 500套離子蝕刻機. 蝕刻機可配置德國 Pfeiffer 渦輪分子泵和美國 KRI 考夫曼離子源!
若您需要進一步的了解離子蝕刻機詳細信息, 請聯絡上海伯東葉女士 分機107
現部分品牌誠招合作代理商, 有意向者歡迎聯絡上海伯東 葉女士
上海伯東版權所有, 翻拷必究!
為你推薦
-
inTEST 芯片高低溫沖擊熱流儀2024-10-18 13:59
產品型號:ATS-535 產地:美國 溫度范圍:-60 至+ 225°C 特點:集成空壓機 -
inTEST BT28 桌面型高低溫沖擊熱流儀2024-09-12 13:56
產品型號:inTEST BT28 溫度范圍:-28° 至 +225°C 溫度顯示和分辨率:+/- 0.1°C -
離子束刻蝕機 20 IBE-J2024-09-12 13:51
產品型號:20 IBE-J 特點:干法物理納米級刻蝕 射頻角度:可以任意調整 -
inTEST Sigma M256 高低溫試驗箱2023-12-01 10:58
產品型號:Sigma M256 產地:美國 腔室體積:255 L -
inTEST Sigma M170 高低溫試驗箱2023-12-01 10:55
產品型號:Sigma M170 產地:美國 溫度范圍:-185°C 至 400°C 腔室體積:165 L -
inTEST Sigma M58 高低溫試驗箱2023-12-01 10:19
產品型號:Sigma M58 產地:美國 寬溫度范圍:-185 °C 至 500°C 腔室體積:59 L -
inTEST Sigma M10 高低溫試驗箱2023-12-01 10:06
產品型號:Sigma M10 產地:美國 寬溫度范圍:-185°C 至 500°C 腔室體積:10 L -
inTEST Sigma 高低溫試驗箱, 溫度環境試驗箱2023-12-01 09:39
產品型號:Sigma 品牌:inTEST 產地:美國 溫度范圍:-185°至 +500°C -
普發分流式分子泵 SplitFlow2023-07-11 10:13
產品型號:SplitFlow 產地:德國 -
普發分子泵 HiPace 80 Neo2023-07-11 10:09
產品型號:HiPace 80 Neo 產地:德國
-
Gel-Pak VRP 可變黏度防靜電真空釋放盒2024-10-18 14:19
-
氦質譜檢漏儀 ASM 340W 鋰電池蓋帽(蓋板)檢漏系統2024-09-13 10:53
-
KRi 霍爾離子源 EH 2000 望遠鏡鏡片光學鍍膜應用2024-09-13 10:38
-
美國 inTEST 高低溫沖擊熱流儀助力半導體芯片研發2024-09-13 10:19
-
離子束刻蝕機物理量傳感器 MEMS 刻蝕應用2024-09-12 13:31
-
氦質譜檢漏儀應用于半導體新材料和設備管道檢漏2023-11-09 15:31
-
氦質譜檢漏儀應用于真空鍍膜生產線2023-08-07 14:35
-
Gel-Pak VR真空釋放盒應用于50V GaN HEMT 芯片2023-08-07 14:28
-
inTEST熱流儀邏輯芯片 FPGA高低溫沖擊測試2023-08-07 14:21
-
上海伯東分子泵應用于 LED 芯片退火合金爐2023-08-07 14:14
-
Aston Impact 高靈敏度質譜分析儀 CVD 清洗終點優化2024-10-18 13:42
-
Aston 質譜儀等離子體刻蝕過程及終點監測2024-10-18 13:33
-
Aston 質譜分析儀搭配 Scrubber 半導體尾氣處理設備進行氣體檢測2024-10-18 13:24
-
鈮酸鋰 LiNbO3 薄膜 IBE 離子束刻蝕2024-09-13 10:59
-
美國 Gel-Pak 應用于 VCSEL 芯片生產2024-09-13 10:28
-
美國進口 KRi 考夫曼離子源 KDC 160 硅片刻蝕清潔案例2024-09-13 10:10
-
inTEST 熱流儀車載顯示器高低溫光學測量應用2024-09-12 14:17
-
HiCube 80 Eco 分子泵組搭配低溫阻抗測試儀應用2023-12-08 14:29
-
SF6 密度繼電器氦質譜檢漏法2023-12-08 14:21
-
新能源汽車 IGBT 功率器件高低溫沖擊測試2023-12-01 15:48