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中圖儀器

深圳市中圖儀器股份有限公司是一家高新技術企業,致力于全尺寸鏈精密測量儀器及設備的研發、生產和銷售。

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3d光學表面輪廓儀

型號: SuperViewW1

--- 產品參數 ---

  • 注釋 更多詳細產品信息,請聯系我們獲取

--- 產品詳情 ---

SuperViewW13d光學表面輪廓儀采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統,具有高精度、高重復性特點。一體化操作的測量分析軟件,以及集成X、Y、Z三個方向位移調整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。

 

SuperViewW1光學3D表面輪廓儀,國產白光干涉儀品牌.jpg
3d光學表面輪廓儀

 

儀器分辨率0.1μm,重復性0.1%,應用領域廣泛,操作簡便,可自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數,適用于各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、孔隙間隙、臺階高度、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、波紋度、面形輪廓、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

 

輪廓分析步驟

1.將樣品放置在載物臺鏡頭下方;

2.檢查電機連接和環境噪聲,確認儀器狀態;

3.使用操縱桿調節Z軸,找到樣品表面干涉條紋;

4.微調XY軸,找到待測區域,并重新找到干涉條紋;

5.完成掃描設置和命名等操作;

6.點擊開始測量(進入3D視圖窗口旋轉調整觀察一會);

7.臺階樣品分析第一步:校平;

8.進入數據處理界面,點擊“校平"圖標,和平面樣品不同,臺階樣品需手動選取基準區域,選好基準區域后,先“全部排除"再“包括";

9.若樣品表面有好幾處區域均為平面且高度一致,可多選擇幾個區域作為基準面進行校平;

10.臺階高度測量:線臺階高度測量

11.進入分析工具界面,點擊“臺階高度"圖標,即可直接獲取自動檢測狀態下的面臺階高度相關數據;

12.在右側點擊“手動檢測",根據需求選擇合適的形狀作為平面1和平面2的測量區域,數據欄可直接讀取兩個區域的面臺階高度數值;

13.臺階高度測量:線臺階高度測量

14.進入數據處理界面,點擊“提取剖面"圖標,使用合適方向的剖面線,提取目標位置的剖面輪廓曲線;

15.進入分析工具界面,點擊“臺階高度"圖標,由于所測為中間凹槽到兩側平面高度,因此點擊右側工具欄,測量條對數選擇“2",將紅色基準線對放置到凹槽平面中間,兩對測量線對分別放置在兩側平面,即可在數據纜讀取臺階高度數據。

 

SuperViewW1光學3D表面輪廓儀,國產白光干涉儀品牌.jpg

 

SuperViewW13d光學表面輪廓儀除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外,具有的測量晶圓翹曲度功能,非常適合晶圓,太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量,應變測量以及表面形貌測量。是目前三維形貌測量領域高精度的檢測儀器之一。

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