清芯卓甩干機
型號:
qxzSG
晶片規格: 2-8〞wafer RPM: 500-2600r/min 基礎工藝流程: 上料→DI噴淋+旋轉→N2(hot)+旋轉→加速旋轉(溫控)→下料 腔體數量: 單腔/雙腔/四腔 設備類型: 半自動 Footprint : 480 (W) x 800(D) x 1800(H) mm