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蘇州清芯卓半導體設備有限公司

蘇州清芯卓半導體設備有限公司,致力于半導體集成電路、中高端濕法腐蝕、清洗設備、CDS集中供液系統、通風柜/廚等一站式的解決方案的技術企業.

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清芯卓IPA干燥機

型號: qxzIPA

--- 產品參數 ---

  • IPA消耗量 50ml/r

--- 產品詳情 ---

晶片規格: 2-8〞wafer  工藝時間: 小于10min  功能效果: 干燥后無斑點 無水漬  IPA消耗量: 50ml/r  設備類型: 半自動(定制)  Footprint : 1500 (W) x 480(D) x 1800(H) mm  

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    產品型號:qxzPH 槽體功能:加熱+超聲 范圍:千級潔凈室要求
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    產品型號:qxzSlug 工藝槽功能:循環過濾+加熱冷卻 基礎工藝流程:MAE酸槽→QDR→MAE酸槽→QDR→C5酸槽→QDR
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    產品型號:qxzWY 工藝槽功能:循環過濾+加熱冷卻+供液 基礎工藝流程:藥液槽→QDR→-------QDR→IPA(可增減)
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    產品型號:qxzGZCUP 工藝槽功能:循環過濾+加熱 基礎工藝流程:藥液槽→丙酮→IPA→QDR
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    產品型號:qxzXY 工藝槽功能:循環過濾+加熱冷卻+晶片滾動 基礎工藝流程:顯影槽→QDR 顯影槽→QDR
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