--- 產(chǎn)品參數(shù) ---
- 品牌 德國(guó) Pfeiffer
- 產(chǎn)地 德國(guó)
--- 產(chǎn)品詳情 ---
因產(chǎn)品配置不同, 價(jià)格貨期需要電議, 圖片僅供參考, 一切以實(shí)際成交合同為準(zhǔn)
上海伯東銷(xiāo)售維修德國(guó) Pfeiffer 標(biāo)準(zhǔn)型渦輪分子泵組 Hicube Classic 系列. Hicube Classic 渦輪分子泵組適用于所有高真空和超高真空應(yīng)用, 分子泵組抽速最大可達(dá) 685 l/s, 前級(jí)泵可搭配干式隔膜泵 MVP系列和旋片真空泵 DuoLine 系列. Hicube Classic 渦輪分子泵組型號(hào)包含: 分子泵組 HiCube 80 Classic, 分子泵組 HiCube 300 Classic, 分子泵組 HiCube 400 Classic和分子泵組 HiCube 700 Classic.
標(biāo)準(zhǔn)型分子泵組 Hicube Classic 優(yōu)點(diǎn)
前級(jí)泵可選干式隔膜泵 MVP系列和旋片真空泵 DuoLine 系列
操作簡(jiǎn)易, 即插即用
多種搭配方案滿(mǎn)足客戶(hù)需求
意外斷電時(shí), 前級(jí)真空安全閥(可選.)可保護(hù)真空腔體免受返流影響
可以直接連接真空計(jì)
分子泵組 HiCube Classic 是一個(gè)立式緊湊型渦輪分子泵組, 非常適合中小型體積腔體的應(yīng)用
結(jié)合渦輪分子泵 HiPace 300 H 或 HiPace 700 H 和前級(jí)泵, 可以實(shí)現(xiàn) <10-10 hPa 的極限真空.
分子泵組 Hicube 80 Classic 技術(shù)參數(shù)
進(jìn)氣法蘭 | 氮?dú)獬樗?br> N2,l/s | 極限真空 hpa | 前級(jí)泵 型號(hào) | 前級(jí)泵抽速 | 前級(jí)真空 | 資料下載 |
DN 40 ISO-KF | 35 | < 1X10-7 | MVP 040 | 2.3 | - | PM S20 230 00 |
MVP 070 | 3.8 | - | PM S20 250 00 | |||
MVP 040 | 2.3 | TVV 001 | PM S20 290 00 | |||
MVP 070 | 3.8 | TVV 001 | PM S20 310 00 | |||
Duo 3 | 2.5 | - | PM S20 330 00 | |||
Duo 6 M | 5 | - | PM S20 350 00 | |||
Duo 3 | 2.5 | AVC 016 | PM S20 370 00 | |||
Duo 6 M | 5 | AVC 016 | PM S20 390 00 | |||
Duo 6 | 5 | - | PM S20 410 00 | |||
Duo 3 M | 2.5 | - | PM S20 430 00 | |||
Duo 6 | 5 | AVC 016 | PM S20 450 00 | |||
Duo 3 M | 2.5 | AVC 016 | PM S20 470 00 | |||
DN 63 ISO-K | 67 | < 1X10-7 | MVP 040 | 2.3 | - | PM S21 230 00 |
MVP 070 | 3.8 | - | PM S21 250 00 | |||
MVP 040 | 2.3 | TVV 001 | PM S21 290 00 | |||
MVP 070 | 3.8 | TVV 001 | PM S21 310 00 | |||
Duo 3 | 2.5 | - | PM S21 330 00 | |||
Duo 6 M | 5 | - | PM S21 350 00 | |||
Duo 3 | 2.5 | AVC 016 | PM S21 370 00 | |||
Duo 6 M | 5 | AVC 016 | PM S21 390 00 | |||
Duo 6 | 5 | - | PM S21 410 00 | |||
Duo 3 M | 2.5 | - | PM S21 430 00 | |||
Duo 6 | 5 | AVC 016 | PM S21 450 00 | |||
Duo 3 M | 2.5 | AVC 016 | PM S21 470 00 | |||
DN 63 CF-F | 67 | < 1 · 10-8 | MVP 040 | 2.3 | - | PM S22 230 00 |
MVP 070 | 3.8 | - | PM S22 250 00 | |||
MVP 040 | 2.3 | TVV 001 | PM S22 290 00 | |||
MVP 070 | 3.8 | TVV 001 | PM S22 310 00 | |||
< 5 · 10-10 | Duo 3 | 2.5 | - | PM S22 330 00 | ||
Duo 6 M | 5 | - | PM S22 350 00 | |||
Duo 3 | 2.5 | AVC 016 | PM S22 370 00 | |||
Duo 6 M | 5 | AVC 016 | PM S22 390 00 | |||
Duo 6 | 5 | - | PM S22 410 00 | |||
Duo 3 M | 2.5 | - | PM S22 430 00 | |||
Duo 6 | 5 | AVC 016 | PM S22 450 00 | |||
Duo 3 M | 2.5 | AVC 016 | PM S22 470 00 |
分子泵組 Hicube 300 Classic 技術(shù)參數(shù)
進(jìn)氣法蘭 | 氮?dú)獬樗?br> N2,l/s | 極限真空 hpa | 前級(jí)泵 型號(hào) | 前級(jí)泵抽速 | 前級(jí)真空 | 資料下載 |
DN 100 ISO-K | 260 | < 1X10-7 | MVP 040 | 2.3 | - | PM S23 230 00 |
MVP 070 | 3.8 | - | PM S23 250 00 | |||
MVP 040 | 2.3 | TVV 001 | PM S23 290 00 | |||
MVP 070 | 3.8 | TVV 001 | PM S23 310 00 | |||
Duo 3 | 2.5 | - | PM S23 330 00 | |||
Duo 6 M | 5 | - | PM S23 350 00 | |||
Duo 3 | 2.5 | AVC 016 | PM S23 370 00 | |||
Duo 6 M | 5 | AVC 016 | PM S23 390 00 | |||
Duo 6 | 5 | - | PM S23 410 00 | |||
Duo 3 M | 2.5 | - | PM S23 430 00 | |||
Duo 6 | 5 | AVC 016 | PM S23 450 00 | |||
Duo 3 M | 2.5 | AVC 016 | PM S23 470 00 | |||
DN 100 CF-F | 260 | < 1X 10-8 | MVP 040 | 2.3 | - | PM S24 230 00 |
MVP 070 | 3.8 | - | PM S24 250 00 | |||
MVP 040 | 2.3 | TVV 001 | PM S24 290 00 | |||
MVP 070 | 3.8 | TVV 001 | PM S24 310 00 | |||
< 5X10-10 | Duo 3 | 2.5 | - | PM S24 330 00 | ||
Duo 6 M | 5 | - | PM S24 350 00 | |||
Duo 3 | 2.5 | AVC 016 | PM S24 370 00 | |||
Duo 6 M | 5 | AVC 016 | PM S24 390 00 | |||
Duo 6 | 5 | - | PM S24 410 00 | |||
Duo 3 M | 2.5 | - | PM S24 430 00 | |||
Duo 6 | 5 | AVC 016 | PM S24 450 00 | |||
Duo 3 M | 2.5 | AVC 016 | PM S24 470 00 |
分子泵組 Hicube 300 H Classic 技術(shù)參數(shù)
進(jìn)氣法蘭 | 氮?dú)獬樗?br> N2,l/s | 極限真空 hpa | 前級(jí)泵 型號(hào) | 前級(jí)泵抽速 | 前級(jí)真空 | 資料下載 |
DN 100 ISO-K | 260 | < 1X10-7 | MVP 040 | 2.3 | - | PM S32 230 00 |
MVP 070 | 3.8 | - | PM S32 250 00 | |||
MVP 040 | 2.3 | TVV 001 | PM S32 290 00 | |||
MVP 070 | 3.8 | TVV 001 | PM S32 310 00 | |||
Duo 3 | 2.5 | - | PM S32 330 00 | |||
Duo 6 M | 5 | - | PM S32 350 00 | |||
Duo 3 | 2.5 | AVC 016 | PM S32 370 00 | |||
Duo 6 M | 5 | AVC 016 | PM S32 390 00 | |||
Duo 6 | 5 | - | PM S32 410 00 | |||
Duo 3 M | 2.5 | - | PM S32 430 00 | |||
Duo 6 | 5 | AVC 016 | PM S32 450 00 | |||
Duo 3 M | 2.5 | AVC 016 | PM S32 470 00 | |||
DN 100 CF-F | 260 | < 1X 10-10 | MVP 040 | 2.3 | - | PM S33 230 00 |
MVP 070 | 3.8 | - | PM S33 250 00 | |||
MVP 040 | 2.3 | TVV 001 | PM S33 290 00 | |||
MVP 070 | 3.8 | TVV 001 | PM S33 310 00 | |||
Duo 3 | 2.5 | - | PM S33 330 00 | |||
Duo 6 M | 5 | - | PM S33 350 00 | |||
Duo 3 | 2.5 | AVC 016 | PM S33 370 00 | |||
Duo 6 M | 5 | AVC 016 | PM S33 390 00 | |||
Duo 6 | 5 | - | PM S33 410 00 | |||
Duo 3 M | 2.5 | - | PM S33 430 00 | |||
Duo 6 | 5 | AVC 016 | PM S33 450 00 | |||
Duo 3 M | 2.5 | AVC 016 | PM S33 470 00 |
分子泵組 Hicube 400 Classic 技術(shù)參數(shù)
進(jìn)氣法蘭 | 氮?dú)獬樗?br> N2,l/s | 極限真空 hpa | 前級(jí)泵 型號(hào) | 前級(jí)泵抽速 | 前級(jí)真空 | 資料下載 |
DN 100 ISO-K | 260 | < 1X10-7 | MVP 040 | 2.3 | - | PM S25 230 00 |
MVP 070 | 3.8 | - | PM S25 250 00 | |||
MVP 040 | 2.3 | TVV 001 | PM S25 290 00 | |||
MVP 070 | 3.8 | TVV 001 | PM S25 310 00 | |||
Duo 3 | 2.5 | - | PM S25 330 00 | |||
Duo 6 M | 5 | - | PM S25 350 00 | |||
Duo 3 | 2.5 | AVC 016 | PM S25 370 00 | |||
Duo 6 M | 5 | AVC 016 | PM S25 390 00 | |||
Duo 6 | 5 | - | PM S25 410 00 | |||
Duo 3 M | 2.5 | - | PM S25 430 00 | |||
Duo 6 | 5 | AVC 016 | PM S25 450 00 | |||
Duo 3 M | 2.5 | AVC 016 | PM S25 470 00 | |||
DN 100 CF-F | 260 | < 1X 10-8 | MVP 040 | 2.3 | - | PM S26 230 00 |
MVP 070 | 3.8 | - | PM S26 250 00 | |||
MVP 040 | 2.3 | TVV 001 | PM S26 290 00 | |||
MVP 070 | 3.8 | TVV 001 | PM S26 310 00 | |||
< 5X10-10 | Duo 3 | 2.5 | - | PM S26 330 00 | ||
Duo 6 M | 5 | - | PM S26 350 00 | |||
Duo 3 | 2.5 | AVC 016 | PM S26 370 00 | |||
Duo 6 M | 5 | AVC 016 | PM S26 390 00 | |||
Duo 6 | 5 | - | PM S26 410 00 | |||
Duo 3 M | 2.5 | - | PM S26 430 00 | |||
Duo 6 | 5 | AVC 016 | PM S26 450 00 | |||
Duo 3 M | 2.5 | AVC 016 | PM S26 470 00 |
分子泵組 Hicube 700 Classic 技術(shù)參數(shù)
進(jìn)氣法蘭 | 氮?dú)獬樗?br> N2,l/s | 極限真空 hpa | 前級(jí)泵 型號(hào) | 前級(jí)泵抽速 | 前級(jí)真空 | 資料下載 |
DN 160 ISO-K | 685 | < 1X10-7 | MVP 040 | 2.3 | - | PM S27 230 00 |
MVP 070 | 3.8 | - | PM S27 250 00 | |||
MVP 040 | 2.3 | TVV 001 | PM S27 290 00 | |||
MVP 070 | 3.8 | TVV 001 | PM S27 310 00 | |||
Duo 3 | 2.5 | - | PM S27 330 00 | |||
Duo 6 M | 5 | - | PM S27 350 00 | |||
Duo 3 | 2.5 | AVC 016 | PM S27 370 00 | |||
Duo 6 M | 5 | AVC 016 | PM S27 390 00 | |||
Duo 6 | 5 | - | PM S27 410 00 | |||
Duo 3 M | 2.5 | - | PM S27 430 00 | |||
Duo 6 | 5 | AVC 016 | PM S27 450 00 | |||
Duo 3 M | 2.5 | AVC 016 | PM S27 470 00 | |||
DN 160 CF-F | 685 | < 1X 10-8 | MVP 040 | 2.3 | - | PM S28 230 00 |
MVP 070 | 3.8 | - | PM S28 250 00 | |||
MVP 040 | 2.3 | TVV 001 | PM S28 290 00 | |||
MVP 070 | 3.8 | TVV 001 | PM S28 310 00 | |||
< 5X10-10 | Duo 3 | 2.5 | - | PM S28 330 00 | ||
Duo 6 M | 5 | - | PM S28 350 00 | |||
Duo 3 | 2.5 | AVC 016 | PM S28 370 00 | |||
Duo 6 M | 5 | AVC 016 | PM S28 390 00 | |||
Duo 6 | 5 | - | PM S28 410 00 | |||
Duo 3 M | 2.5 | - | PM S28 430 00 | |||
Duo 6 | 5 | AVC 016 | PM S28 460 00 | |||
Duo 3 M | 2.5 | AVC 016 | PM S28 470 00 |
分子泵組 Hicube 700 H Classic 技術(shù)參數(shù)
進(jìn)氣法蘭 | 氮?dú)獬樗?br> N2,l/s | 極限真空 hpa | 前級(jí)泵 型號(hào) | 前級(jí)泵抽速 | 前級(jí)真空 | 資料下載 |
DN 160 ISO-K | 685 | < 1X10-7 | MVP 040 | 2.3 | - | PM S36 230 00 |
MVP 070 | 3.8 | - | PM S36 250 00 | |||
MVP 040 | 2.3 | TVV 001 | PM S36 290 00 | |||
MVP 070 | 3.8 | TVV 001 | PM S36 310 00 | |||
Duo 3 | 2.5 | - | PM S36 330 00 | |||
Duo 6 M | 5 | - | PM S36 350 00 | |||
Duo 3 | 2.5 | AVC 016 | PM S36 370 00 | |||
Duo 6 M | 5 | AVC 016 | PM S36 390 00 | |||
Duo 6 | 5 | - | PM S36 410 00 | |||
Duo 3 M | 2.5 | - | PM S36 430 00 | |||
Duo 6 | 5 | AVC 016 | PM S36 450 00 | |||
Duo 3 M | 2.5 | AVC 016 | PM S36 470 00 | |||
DN 160 CF-F | 685 | < 1X 10-10 | MVP 040 | 2.3 | - | PM S37 230 00 |
MVP 070 | 3.8 | - | PM S37 250 00 | |||
MVP 040 | 2.3 | TVV 001 | PM S37 290 00 | |||
MVP 070 | 3.8 | TVV 001 | PM S37 310 00 | |||
Duo 3 | 2.5 | - | PM S37 330 00 | |||
Duo 6 M | 5 | - | PM S37 350 00 | |||
Duo 3 | 2.5 | AVC 016 | PM S37 370 00 | |||
Duo 6 M | 5 | AVC 016 | PM S37 390 00 | |||
Duo 6 | 5 | - | PM S37 410 00 | |||
Duo 3 M | 2.5 | - | PM S37 430 00 | |||
Duo 6 | 5 | AVC 016 | PM S37 450 00 | |||
Duo 3 M | 2.5 | AVC 016 | PM S37 470 00 |
標(biāo)準(zhǔn)型分子泵組 Hicube Classic 尺寸圖
若您需要進(jìn)一步的了解 Pfeiffer 真空泵詳細(xì)信息或討論, 請(qǐng)聯(lián)絡(luò)上海伯東葉女士
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刻蝕是半導(dǎo)體制造中最常用的工藝之一, 上海伯東日本 Atonarp Aston 質(zhì)譜儀適用于等離子體刻蝕過(guò)程及終點(diǎn)監(jiān)測(cè) (干法刻蝕終點(diǎn)檢測(cè)), 通過(guò)持續(xù)監(jiān)控腔室工藝化學(xué)氣體, 確保半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)的高產(chǎn)量和最大吞吐量.92瀏覽量 -
Aston 質(zhì)譜分析儀搭配 Scrubber 半導(dǎo)體尾氣處理設(shè)備進(jìn)行氣體檢測(cè)2024-10-18 13:24
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鈮酸鋰 LiNbO3 薄膜 IBE 離子束刻蝕2024-09-13 10:59
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美國(guó) Gel-Pak 應(yīng)用于 VCSEL 芯片生產(chǎn)2024-09-13 10:28
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美國(guó)進(jìn)口 KRi 考夫曼離子源 KDC 160 硅片刻蝕清潔案例2024-09-13 10:10
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inTEST 熱流儀車(chē)載顯示器高低溫光學(xué)測(cè)量應(yīng)用2024-09-12 14:17
通過(guò)美國(guó) inTEST ATS-545 熱流儀給車(chē)載顯示器升溫或降溫, 測(cè)量其在不同溫度下任意點(diǎn)的光學(xué)特性, 實(shí)現(xiàn)高低溫環(huán)境 -40 至 100℃ 下產(chǎn)品的亮度, 色度, 響應(yīng)時(shí)間和可視角度測(cè)試.152瀏覽量 -
HiCube 80 Eco 分子泵組搭配低溫阻抗測(cè)試儀應(yīng)用2023-12-08 14:29
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SF6 密度繼電器氦質(zhì)譜檢漏法2023-12-08 14:21
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新能源汽車(chē) IGBT 功率器件高低溫沖擊測(cè)試2023-12-01 15:48
車(chē)用 IGBT 模塊對(duì)產(chǎn)品性能和質(zhì)量的要求要明顯高于消費(fèi)和工控領(lǐng)域, 需要通過(guò)嚴(yán)格的車(chē)規(guī)認(rèn)證, 汽車(chē) IGBT 模塊測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)主要參照 AEC-Q101 和 AQG-324, 其中溫度沖擊, 功率循環(huán), 溫度循環(huán), 結(jié)溫等是其中重要的測(cè)試要求, 功率循環(huán)和溫度循環(huán)作為代表的耐久測(cè)試, 測(cè)試循環(huán)次數(shù)可能從幾萬(wàn)次到十萬(wàn)次不等.510瀏覽量