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中圖儀器

深圳市中圖儀器股份有限公司是一家高新技術(shù)企業(yè),致力于全尺寸鏈精密測量儀器及設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。

2.7k 內(nèi)容數(shù) 99w+ 瀏覽量 63 粉絲

白光干涉輪廓儀參數(shù)

型號: SuperViewW1
品牌: 中圖儀器(中圖儀器)

--- 產(chǎn)品參數(shù) ---

  • 注釋 更多詳細產(chǎn)品信息,請聯(lián)系我們獲取

--- 產(chǎn)品詳情 ---

CHOTEST中圖儀器SuperViewW1白光干涉輪廓儀是以白光干涉技術(shù)原理,對各種精密器件表面進行納米級測量的儀器,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。它具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點,測量單個精細器件的過程用時2分鐘以內(nèi),確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

531.jpg

應(yīng)用領(lǐng)域

SuperViewW1白光干涉輪廓儀對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

 

技術(shù)指標

型號

W1

光源白光LED
影像系統(tǒng)1024×1024
干涉物鏡

標配:10×

選配:2.5×、5×、20×、50×、100×

光學(xué)ZOOM
 

標配:0.5×

選配:0.375×、0.75×、1×

標準視場0.98×0.98㎜(10×物鏡,光學(xué)ZOOM 0.5×)

 

XY位移平臺
 

尺寸
 
320×200㎜
移動范圍

140×100㎜

負載10kg
控制方式電動
Z軸聚焦行程100㎜
控制方式電動
形貌重復(fù)性0.1nm
粗糙度RMS重復(fù)性0.005nm
 
臺階測量

準確度:0.3%;重復(fù)性:0.08%(1σ)

可測樣品反射率0.05%~100%
主機尺寸700×606×920㎜

 

產(chǎn)品功能

1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;

2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能;

3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能;

4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

結(jié)果組成:

1、三維表面結(jié)構(gòu):粗糙度,波紋度,表面結(jié)構(gòu),缺陷分析,晶粒分析等;

2、二維圖像分析:距離,半徑,斜坡,格子圖,輪廓線等;

3、表界面測量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;

4、薄膜和厚膜的臺階高度測量;

5、劃痕形貌,摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量;

6、微電子表面分析和MEMS表征。

超精密加工.jpg
超精密加工

 

 

針對芯片封裝測試流程的測量需求,SuperViewW1白光干涉輪廓儀的X/Y方向標準行程為140*100mm,滿足減薄后晶圓表面大范圍多區(qū)域的粗糙度自動化檢測、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺階高等微納米級別精度的測量。而SuperViewW1-Pro 型號增大了測量范圍,可覆蓋8英寸及以下晶圓,定制版真空吸附盤,穩(wěn)定固定Wafer;氣浮隔振+殼體分離式設(shè)計,隔離地面震動與噪聲干擾。

白光干涉儀是目前三維形貌測量領(lǐng)域高精度的檢測儀器之一。在同等放大倍率下,測量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。在一些納米或者亞納米級別的超高精度加工領(lǐng)域,除了白光干涉儀,其它儀器達不到檢測的精度要求。

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