--- 產品參數 ---
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--- 產品詳情 ---
單頻激光干涉儀sj6000自動采集數據,避免人為讀數誤差,精度高;測量過程全自動化,效率高;可測量任意方向的回轉軸,可測量任意角度間隔,通用性強;可自動生成誤差曲線和補償數據,根據不同標準自動計算定位精度結果,無需人工計算。
單頻激光干涉儀sj6000結合不同的光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態測量軟件配合下,可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析,如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。
性能特點
1.測量精度高、速度快,穩定性好
(1)單頻激光干涉儀sj6000使用高性能氦氖激光器,結合伺服穩頻控制系統,達到高精度穩頻(0.05ppm)
(2)以光波長為測量單位,分辨率可達nm級
(3)使用高速光電信號采樣和處理技術,測量速度可達到4m/s。
(4)配合有環境補償單元,在環境變化的情況下,也可以得到較高的測量精度
(5)分離式干涉鏡設計,避免了測量鏡組由于主機發熱而引起的鏡組形變
2. 應用范圍廣
(1)可以實現線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測
(2)結合軟件系統,可以用于速度,加速度,振動分析以及穩定度等分析
(3)可實時監控精密加工機床等機器的動態數據,進行動態特性分析
3.軟件界面友好
(1)使用當前熱門的軟件界面開發工具,軟件界面人性化,操作簡單。
(2)將靜態測量和動態測量兩種功能合并到一個軟件中,更方便用戶切換測量類型。
(3)向導式操作,流程清晰,更符合國內用戶的使用習慣。
產品配置
SJ6000激光干涉儀系統具有豐富的模塊化組件,可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。
主要鏡組圖
其中,線性鏡組為標配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成。可滿足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補償。
線性測量功能
線性測量(線性軸位置精度測量的簡稱)配置主要由SJ6000主機、EC20環境補償單元、線性鏡組、SJ6000靜態測量軟件等組件構成,可滿足0~80m范圍內的線性測量。其中,線性測量包括定位精度測量、重復定位精度測量和設備反向間隙測量等。
廣泛應用于機床、三坐標、機器人、3D打印設備、自動化設備、線性位移平臺、精密機械設備、精密檢測儀器等領域的線性測量。
sj6000激光干涉儀具有高精度、高靈敏度、非接觸式測量等優點,集光、機、電、計算機等技術于一體,在計量領域中可作為長度基準以及設備校準工具。廣泛應用于數控機床、激光打標/切割、三坐標、影像儀、精密測量、自動化、機器人、3D打印等領域。
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