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中圖儀器

深圳市中圖儀器股份有限公司是一家高新技術企業,致力于全尺寸鏈精密測量儀器及設備的研發、生產和銷售。

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國產白光干涉儀 微觀形貌絲毫畢現

型號: SuperViewW1
品牌: 中圖儀器(中圖儀器)
立即購買

--- 產品參數 ---

  • 注釋 如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。

--- 產品詳情 ---

SuperViewW1國產白光干涉儀以白光干涉技術為原理,獲取反映器件表面質量的2D、3D參數,從而實現器件表面形貌3D測量。它集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優點,適用于從超光滑到粗糙、平面到弧面等各種表面類型,讓3D測量變得簡單。

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產品功能

(1)SuperViewW1國產白光干涉儀設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;

(2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能;

(3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區域測量功能;

(4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區域提取等四大模塊的數據處理功能;

(5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

(6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

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應用領域

對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

應用范例:

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產品特點

參數測量:粗糙度、微觀輪廓尺寸、角度、面積、體積,一網打盡;

環境噪聲檢測:實時監測,納米波動,也無可藏匿;

雙重防撞保護:軟件ZSTOP和Z向硬件傳感器,讓“以卵擊石"也能安然無恙;

自動拼接:3軸光柵閉環反饋,讓3D拼接“天衣無縫";

雙重振動隔離:氣浮隔振,吸音隔振,任你“地動山搖,我自巋然不動"。

 

部分技術指標

型號

W1
 
光源
 
白光LED
影像系統1024×1024
干涉物鏡

標配:10×

選配:2.5×;5×;20×;50×;100×

光學ZOOM

標配:0.5×

選配:0.375×;0.75×;1×

物鏡塔臺
 

標配:3孔手動

選配:5孔電動

 

XY位移平臺
 

尺寸320×200㎜
移動范圍140×100㎜
負載10kg
控制方式電動
Z軸聚焦

行程

100㎜
控制方式電動
Z向掃描范圍10 ㎜
主機尺寸(長×寬×高)700×606×920㎜

如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。

 

SuperViewW1國產白光干涉儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。

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