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芯茂(嘉興)半導體科技有限公司

芯茂(嘉興)半導體科技有限公司是一家專注于半導體裝備本土化制造的高科技公司。

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晶圓表面缺陷檢測儀

型號: YIS200;YIS300

--- 產品參數 ---

  • 検査內容 平坦度、DIMPLES 、Mound、Sawmark、Ori
  • 使用光源 550nmFiltering
  • 検査區域 φ200mm以下~φ450mm
  • 検査倍率 3倍模式切換
  • 検査時間 瞬時影像輸出
  • 外形寸法 600(W)X1008(D)X1630(H)mm
  • 電 源 AC 100V 50/60Hz MAX.3A

--- 產品詳情 ---

           表面欠陥検査裝置「魔鏡」

       本設備應用魔鏡的原理,高靈敏度地檢查鏡面樣品的表面狀態??梢愿哽`敏度地檢測樣品表面上的不均勻性,翹曲,拋光不均勻性等,檢測結果在監視器上用亮度(白)和暗度(黑)表示。檢查可以在非接觸和非破壞性的情況下進行,并且可以立即確認樣品的表面狀態。這是一款使用免維護光學系統,可操作性優異的設備。

     原理: 基于事前所設定的缺陷判斷的閾値,使所取得的圖像,缺陷種類的判別,缺陷部位的可視化,位置坐標算出,缺陷尺寸表示等進行自動解析,可在界面針對數據,對缺陷進行逐一觀測。

特長                                                                                用途
1.所有的表面狀態都是即時的。                                  ○鏡面晶圓的表面檢查
2.我們的光學系統對應是1級的。                                ○滑移線的檢查
3.光學系統是免維護的。                                            ○玻璃基板的檢測
4.根據檢查內容,檢測靈敏度/檢測放大率                   ○其他鏡面基板的檢測
                                                                                     ○Film等的基板以外的檢查
5.根據每個樣品和檢查位置定制最佳光學系統。

 

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