還在用 AE 還是 MKS 的RF電源嗎？
RF Generator System取代AE,MKS電源，是您理性的選擇。
SUNSAY的RF電源跟AE和MKS的RF電源據有互換性 。同時SUNSAY是Applied，LAM，TEL的OEM廠家。
阻燃設計，不會引發火災。
直流，交流，射頻均使用特氟龍電線。
RF放大器分成多組，每組功率限制在1.5kW以下。
DC inverter分成多組，每組輸出功率限制在3kW以下（成本是mks inverter的4倍）。每組inverter內置保險絲，同時每組都有各自的CPU檢測電壓
和電流SUNSAY電源里有多達8個CPU.
每組DC inverter和RF放大器都留有2倍的余量配合過流保護開關形成多重保護。
