輪廓儀 EGPRO-512
新型晶圓輪廓檢測儀器
型號(hào)：
EGPRO-512
--- 產(chǎn)品參數(shù) ---
- 測定尺寸 5寸，6寸，8寸，12寸wafer的Edge，Notch測量
- 機(jī)能 校正功能，圖像結(jié)果，測量數(shù)據(jù)可以保存
- wafer的厚度測量 500~1400um
- 尺寸精度 +-1um
- 角度校正精度 0.1°
--- 產(chǎn)品詳情 ---
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